一种选通管材料、选通管单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN115084369A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202210706279.X

    申请日:2022-06-21

    摘要: 本发明公开了一种选通管材料、选通管单元及其制备方法,属于微纳米电子技术领域。所述选通管材料为包括In、Te及M的化合物,其中,M为掺杂元素,且为C、Si、N、As、Sc、Ti、Ga、Hf及Y中的至少一种。所述选通管材料的化学通式为InxTeyM100‑x‑y,其中,x,y为元素的原子百分比,且10≤x≤45,55≤y≤90,0≤100‑x‑y≤15。该选通管材料由In、Te和掺杂元素构成,在In‑Te化合物的基础上进行掺杂,组分相对简单,易于调控,且该化合物热稳定性高,漏电流小,通过进一步元素掺杂可以提高其耐用性,热稳定性以及开态电流密度。

    一种选通管材料、选通管单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN115084369B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202210706279.X

    申请日:2022-06-21

    摘要: 本发明公开了一种选通管材料、选通管单元及其制备方法,属于微纳米电子技术领域。所述选通管材料为包括In、Te及M的化合物,其中,M为掺杂元素,且为C、Si、N、As、Sc、Ti、Ga、Hf及Y中的至少一种。所述选通管材料的化学通式为InxTeyM100‑x‑y,其中,x,y为元素的原子百分比,且10≤x≤45,55≤y≤90,0≤100‑x‑y≤15。该选通管材料由In、Te和掺杂元素构成,在In‑Te化合物的基础上进行掺杂,组分相对简单,易于调控,且该化合物热稳定性高,漏电流小,通过进一步元素掺杂可以提高其耐用性,热稳定性以及开态电流密度。

    一种Sb-Te-C相变存储材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN115835770A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211482089.0

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: H10N70/20 H10B63/10

    摘要: 本发明属于微电子技术领域,更具体地,涉及一种Sb‑Te‑C相变存储材料及其制备方法和应用。本发明Sb‑Te‑C相变存储材料,其化学组成通式为(SbiTej)100‑xCx,其中x,i和j均表示原子百分比,0<x≤30,0<i≤50,50≤j<100,i+j=100。与未掺杂C的Sb‑Te相变材料相比,本发明提供的Sb‑Te‑C相变薄膜材料电阻随温度变化曲线随着C浓度的增加逐渐趋向于缓变,具有应用于人工神经网络与类脑计算的潜力;且所述Sb‑Te‑C相变材料的电阻窗口以及电阻绝对值增大,意味着存储数据的区分程度增大,操作功耗降低;另外所述Sb‑Te‑C相变材料的相变温度得到较大提升,热稳定性增强,数据保持力增强。