描述了用于将边缘环固定到支撑环的系统和方法。边缘环通过插入到边缘环的底表面中的多个紧固件固定到支撑环上。将边缘环固定到支撑环上在等离子体室内处理衬底期间提供边缘环的稳定性。另外，将边缘环固定到支撑环上使得边缘环固定到等离子体室上，因为支撑环被固定到绝缘体环，该绝缘体环连接到等离子体室的绝缘体壁。此外，在衬底的处理期间，使用一个或多个扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向下拉，以及使用扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向上推以从等离子体室中移除边缘环和支撑环。