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公开(公告)号：CN117795638A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280037825.3
申请日：2022-05-16
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 迈克尔·C·凯洛格
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种在等离子体处理室中使用的约束环包括上水平段、上竖直段、中间段、下竖直段、下水平段以及竖直延伸部。该上水平段在约束环的内上半径与第一外半径之间延伸。该中间段在约束环的内上半径与第二外半径之间延伸。该下水平段在内下半径与第二外半径之间延伸，而竖直延伸部从内下半径附近的下水平段朝下延伸。该上竖直段在内上半径附近的上水平段与中间段之间延伸，而该下竖直段在第二外半径附近的中间段与下水平段之间延伸。
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公开(公告)号：CN116884825A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310715034.8
申请日：2017-12-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 亚当·梅斯 , 阿列克谢.马拉赫塔诺夫 , 约翰·霍兰德 , 陈志刚 , 费利克斯·科扎克维奇 , 亚历山大·马丘什金
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 描述了用于将边缘环固定到支撑环的系统和方法。边缘环通过插入到边缘环的底表面中的多个紧固件固定到支撑环上。将边缘环固定到支撑环上在等离子体室内处理衬底期间提供边缘环的稳定性。另外，将边缘环固定到支撑环上使得边缘环固定到等离子体室上，因为支撑环被固定到绝缘体环，该绝缘体环连接到等离子体室的绝缘体壁。此外，在衬底的处理期间，使用一个或多个扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向下拉，以及使用扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向上推以从等离子体室中移除边缘环和支撑环。
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公开(公告)号：CN116884823A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310709842.3
申请日：2017-12-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 亚当·梅斯 , 阿列克谢.马拉赫塔诺夫 , 约翰·霍兰德 , 陈志刚 , 费利克斯·科扎克维奇 , 亚历山大·马丘什金
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 描述了用于将边缘环固定到支撑环的系统和方法。边缘环通过插入到边缘环的底表面中的多个紧固件固定到支撑环上。将边缘环固定到支撑环上在等离子体室内处理衬底期间提供边缘环的稳定性。另外，将边缘环固定到支撑环上使得边缘环固定到等离子体室上，因为支撑环被固定到绝缘体环，该绝缘体环连接到等离子体室的绝缘体壁。此外，在衬底的处理期间，使用一个或多个扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向下拉，以及使用扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向上推以从等离子体室中移除边缘环和支撑环。
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公开(公告)号：CN111489951B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202010069637.1
申请日：2017-06-22
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 , 约翰·帕特里克·霍兰德 , 陈志刚 , 菲力克斯·科扎克维奇 , 肯尼思·卢凯西
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及耦合环。耦合环包括具有顶表面和底表面的绝缘体材料；嵌入所述绝缘体材料内的电极，其中所述电极位于所述绝缘体材料的顶表面下方的第一距离处和所述绝缘体材料的底表面上方的第二距离处，其中所述电极被配置为耦合到电源接脚，其中，所述耦合环被配置为放置在等离子体室内，以与等离子体室的卡盘相邻。
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公开(公告)号：CN115938902B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202211170694.4
申请日：2017-12-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 亚当·梅斯 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 约翰·霍兰德 , 陈志刚 , 费利克斯·科扎克维奇 , 亚历山大·马丘什金
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 描述了用于将边缘环固定到支撑环的系统和方法。边缘环通过插入到边缘环的底表面中的多个紧固件固定到支撑环上。将边缘环固定到支撑环上在等离子体室内处理衬底期间提供边缘环的稳定性。另外，将边缘环固定到支撑环上使得边缘环固定到等离子体室上，因为支撑环被固定到绝缘体环，该绝缘体环连接到等离子体室的绝缘体壁。此外，在衬底的处理期间，使用一个或多个扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向下拉，以及使用扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向上推以从等离子体室中移除边缘环和支撑环。
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公开(公告)号：CN116884824A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310713047.1
申请日：2017-12-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 亚当·梅斯 , 阿列克谢.马拉赫塔诺夫 , 约翰·霍兰德 , 陈志刚 , 费利克斯·科扎克维奇 , 亚历山大·马丘什金
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 描述了用于将边缘环固定到支撑环的系统和方法。边缘环通过插入到边缘环的底表面中的多个紧固件固定到支撑环上。将边缘环固定到支撑环上在等离子体室内处理衬底期间提供边缘环的稳定性。另外，将边缘环固定到支撑环上使得边缘环固定到等离子体室上，因为支撑环被固定到绝缘体环，该绝缘体环连接到等离子体室的绝缘体壁。此外，在衬底的处理期间，使用一个或多个扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向下拉，以及使用扣紧机构将支撑环和边缘环竖直向上推以从等离子体室中移除边缘环和支撑环。
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公开(公告)号：CN107665804B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201710611474.3
申请日：2017-07-25
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 , 菲力克斯·科扎克维奇 , 迈克尔·C·凯洛格 , 约翰·帕特里克·霍兰德 , 陈志刚 , 肯尼思·卢凯西 , 赵琳
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及通过同步主和边缘RF发生器实现预定因子的系统和方法。描述了用于实现与等离子体室内的边缘区域相关联的预定因子的系统和方法。其中一种方法包括向等离子体室内的主电极提供RF信号。基于第一RF发生器的工作频率来生成RF信号。该方法还包括向等离子体室内的边缘电极提供另一RF信号。基于第一RF发生器的工作频率产生另一RF信号。该方法包括接收变量的第一测量值，接收变量的第二测量值，以及基于第一测量值和第二测量值来修改另一RF信号的相位。该方法包括改变与第二RF发生器相关联的变量的幅值以实现预定因子。
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公开(公告)号：CN107527785A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710482522.3
申请日：2017-06-22
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 阿列克谢·马拉霍塔诺夫 , 约翰·帕特里克·霍兰德 , 陈志刚 , 菲力克斯·科扎克维奇 , 肯尼思·卢凯西
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明涉及通过使用耦合环内的电极来控制边缘区域中的离子的方向性的系统和方法。描述了用于控制等离子体室内的边缘区域处的离子通量的方向性的系统和方法。系统中的一种包括：被配置为产生RF信号的射频(RF)发生器、耦合到RF发生器的用于接收RF信号以产生经修改的RF信号的阻抗匹配电路、以及等离子体室。等离子体室包括边缘环和耦合环，耦合环位于边缘环下方并且耦合到第一阻抗匹配电路以接收经修改的RF信号。耦合环包括电极，电极在电极和边缘环之间产生电容，以在接收到经修改的RF信号时控制离子通量的方向性。
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公开(公告)号：CN104040028B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201280058684.X
申请日：2012-11-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 拉金德尔·迪恩赛
IPC分类号： C23F1/00
CPC分类号： H01J37/3244 , Y10T29/49002
摘要： 一种被构造为置于穿过电极的组件的通道中的气体进给嵌件包括第一嵌件端部，在第一嵌件端部中具有与所述气体进给嵌件的线性轴平行对齐的第一钻孔。所述气体进给嵌件进一步包括在所述第一嵌件端部对面的第二嵌件端部，所述第二嵌件端部中具有与所述气体进给嵌件的线性轴平行对齐的第二钻孔，所述气体进给嵌件还包括与第一钻孔和第二钻孔气流连通的钻孔到钻孔连通通道。所述钻孔到钻孔连通通道形成在所述气体进给嵌件的外表面中以便在气体从第一嵌件端部流动穿过钻孔到钻孔连通通道到第二嵌件端部时阻碍视线。
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公开(公告)号：CN104040028A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280058684.X
申请日：2012-11-15
申请人： 朗姆研究公司
发明人： 迈克尔·C·凯洛格 , 阿列克谢·马拉赫塔诺夫 , 拉金德尔·迪恩赛
IPC分类号： C23F1/00
CPC分类号： H01J37/3244 , Y10T29/49002
摘要： 一种被构造为置于穿过电极的组件的通道中的气体进给嵌件包括第一嵌件端部，在第一嵌件端部中具有与所述气体进给嵌件的线性轴平行对齐的第一钻孔。所述气体进给嵌件进一步包括在所述第一嵌件端部对面的第二嵌件端部，所述第二嵌件端部中具有与所述气体进给嵌件的线性轴平行对齐的第二钻孔，所述气体进给嵌件还包括与第一钻孔和第二钻孔气流连通的钻孔到钻孔连通通道。所述钻孔到钻孔连通通道形成在所述气体进给嵌件的外表面中以便在气体从第一嵌件端部流动穿过钻孔到钻孔连通通道到第二嵌件端部时阻碍视线。
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