发明公开
- 专利标题: 一种两端选通器件制备方法及1S1C存储器
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申请号: CN202310619166.0申请日: 2023-05-29
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公开(公告)号: CN116568127A公开(公告)日: 2023-08-08
- 发明人: 童浩 , 汪宾浩 , 刘梓轩 , 缪向水
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉华之喻知识产权代理有限公司
- 代理商 刘娅婷; 张彩锦
- 主分类号: H10N70/00
- IPC分类号: H10N70/00 ; H10B12/00
摘要:
本发明公开了一种两端选通器件制备方法及1S1C存储器,该两端选通器件制备方法为:(1)提供一半导体衬底,在半导体衬底上沉积底电极层;(2)在底电极层上沉积绝缘层;(3)对绝缘层进行刻蚀,使该绝缘层中形成多个贯穿的圆孔,圆孔按一定规律排列,且圆孔均位于底电极层上;(4)将步骤(3)得到的样品在O2或Ar气体氛围条件下进行等离子体表面处理,使圆孔底部的底电极层产生损伤,从而导致其表面形成缺陷;(5)向圆孔孔内填充选通管功能层;(6)在选通管功能层表面沉积顶电极层。本发明只需较小的First‑fire电压即可完成First‑fire操作,且无需为选通器件的First‑fire操作设计专用电路。