一种两端选通器件制备方法及1S1C存储器
摘要:
本发明公开了一种两端选通器件制备方法及1S1C存储器,该两端选通器件制备方法为:(1)提供一半导体衬底,在半导体衬底上沉积底电极层;(2)在底电极层上沉积绝缘层;(3)对绝缘层进行刻蚀,使该绝缘层中形成多个贯穿的圆孔,圆孔按一定规律排列,且圆孔均位于底电极层上;(4)将步骤(3)得到的样品在O2或Ar气体氛围条件下进行等离子体表面处理,使圆孔底部的底电极层产生损伤,从而导致其表面形成缺陷;(5)向圆孔孔内填充选通管功能层;(6)在选通管功能层表面沉积顶电极层。本发明只需较小的First‑fire电压即可完成First‑fire操作,且无需为选通器件的First‑fire操作设计专用电路。
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