发明公开
- 专利标题: 一种双终端氮化镓基二极管及其制备方法
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申请号: CN202310822885.2申请日: 2023-07-05
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公开(公告)号: CN116845111A公开(公告)日: 2023-10-03
- 发明人: 黄永 , 王亦飞 , 王东 , 宁静 , 陈兴 , 万坤 , 杨旭豪
- 申请人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 申请人地址: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园7号楼
- 专利权人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 当前专利权人: 西安电子科技大学芜湖研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包产业园7号楼
- 代理机构: 上海驷合知识产权代理有限公司
- 代理商 于秀
- 主分类号: H01L29/872
- IPC分类号: H01L29/872 ; H01L29/06 ; H01L21/329 ; H01L29/20
摘要:
本发明公开了一种双终端氮化镓基二极管及其制备方法,其中的器件包括:衬底以及设置于衬底上的缓冲层、沟道层和势垒层;P‑GaN双终端层,设置于势垒层上除阴极位置区域和阳极位置区域以外区域;P‑GaN双终端层包括分别设置于第一区域和第二区域的第一终端和第二终端,第一区域为P‑GaN双终端层靠近阳极位置区域的端部中的部分区域,第二区域为除第一区域以外的区域;第二终端为对第二区域的P‑GaN材料进行等离子体处理后得到;阴电极,设置于势垒层上的阴极位置区域;阳电极,设置于势垒层上的阳极位置区域,并与第一终端和第二终端均电接触。本发明中的器件,正向工作时电流密度较高、开启电压较低,反向工作时漏电电流较小、击穿电压较高。
IPC分类: