一种双终端氮化镓基二极管及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种双终端氮化镓基二极管及其制备方法,其中的器件包括:衬底以及设置于衬底上的缓冲层、沟道层和势垒层;P‑GaN双终端层,设置于势垒层上除阴极位置区域和阳极位置区域以外区域;P‑GaN双终端层包括分别设置于第一区域和第二区域的第一终端和第二终端,第一区域为P‑GaN双终端层靠近阳极位置区域的端部中的部分区域,第二区域为除第一区域以外的区域;第二终端为对第二区域的P‑GaN材料进行等离子体处理后得到;阴电极,设置于势垒层上的阴极位置区域;阳电极,设置于势垒层上的阳极位置区域,并与第一终端和第二终端均电接触。本发明中的器件,正向工作时电流密度较高、开启电压较低,反向工作时漏电电流较小、击穿电压较高。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/86 ..只能通过对一个或多个通有待整流,放大、振荡或切换的电流的电极供给电流的变化或施加电位的变化方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/861 ...二极管
H01L29/872 ....肖特基二极管
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