一种可净化保护的末端执行器，包括气体吹扫单元、晶圆搬运单元和气体回收单元；该气体吹单元包括顶部手臂、气嘴、气管、传动机构和吹扫盘；晶圆搬运单元包括中部手臂和末端手指；气体回收单元包括底部手臂和气体回收盘；顶部手臂可旋转地固定在机器人手臂上；气管固定在气嘴上用于给吹扫盘供气；吹扫盘中心与末端手指把持的晶圆中心以及气体回收盘同心，吹扫盘通过传动机构实现上下方向直线运动，且吹扫盘在最低位置时，与气体回收盘可形成一个封闭的空间将所述晶圆保护起来；当需要对晶圆进行吹扫时，气体吹扫单元将经过负压处理的非活性气体排出。因此，本发明满足对晶圆超高洁净搬运需求，即实现整个搬运过程对晶圆净化保护。