公开(公告)号：CN117621105A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311791404.2

申请日：2023-12-25

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 武一鸣 ,  潘春香 ,  杨琦 ,  刘恩龙 ,  古市昌稔 ,  萩尾光昭 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  王贺明 ,  周伟强 ,  马刚 ,  张贤龙 ,  张菊 ,  董怀宝 ,  苗义

IPC分类号： B25J11/00 ,  B25J19/00

摘要： 本公开的实施例提供了一种抗腐蚀真空机器人，包括：导轨底座；滚珠丝杠，安装在所述导轨底座上；第一中空轴，套设在滚珠丝杠上，并可以沿所述滚珠丝杠移动；第一转接轴，套设在第一中空轴上；以及第一电动马达，包括第一定子、第一转子以及第一壳体，所述第一转子套设固定在第一转接轴上，所述第一定子固定在所述第一壳体上并与所述第一转子相对，所述第一壳体通过第一轴承固定在第一转接轴上；其中，所述抗腐蚀真空机器人还包括第一迷宫结构，所述第一迷宫结构设置在所述第一电动马达上，并与所述第一转接轴、所述第一壳体配合，密封设置在所述第一壳体内的第一定子和第一转子。

公开(公告)号：CN117080135A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311071816.9

申请日：2023-08-24

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  萩尾光昭 ,  张菊 ,  武一鸣 ,  王贺明 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/677 ,  B08B5/02 ,  B08B5/04

摘要： 一种可净化保护的末端执行器，包括气体吹扫单元、晶圆搬运单元和气体回收单元；该气体吹单元包括顶部手臂、气嘴、气管、传动机构和吹扫盘；晶圆搬运单元包括中部手臂和末端手指；气体回收单元包括底部手臂和气体回收盘；顶部手臂可旋转地固定在机器人手臂上；气管固定在气嘴上用于给吹扫盘供气；吹扫盘中心与末端手指把持的晶圆中心以及气体回收盘同心，吹扫盘通过传动机构实现上下方向直线运动，且吹扫盘在最低位置时，与气体回收盘可形成一个封闭的空间将所述晶圆保护起来；当需要对晶圆进行吹扫时，气体吹扫单元将经过负压处理的非活性气体排出。因此，本发明满足对晶圆超高洁净搬运需求，即实现整个搬运过程对晶圆净化保护。