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一种环形浮栅器件
Abstract:
本发明公开一种环形浮栅器件,涉及半导体技术领域。所述环形浮栅器件包括:衬底、源极、漏极和多个纳米线结构;纳米线结构包括:纳米线沟道以及由内向外依次包裹在纳米线沟道外的隧穿介质层、浮栅层、栅氧化层和栅电极层,纳米线沟道的两端均延伸出隧穿介质层、浮栅层、栅氧化层和栅电极层,并分别与源极和漏极相接触;源极和漏极均设置在衬底上,且两极不接触;各纳米线结构由下向上依次设置在两极之间。本发明可以提高浮栅器件的可靠性,解决在沟道内掺杂难以实现与传统常规器件一样均匀的问题,并且也可以解决在源漏施加偏压后两个电极间的平行电场自上而下慢慢减弱,沟道电子注入的难度逐渐增加的问题。
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