- 专利标题: 抗辐射动态阈值调制半导体器件、工艺、电路及芯片
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申请号: CN202311569965.8申请日: 2023-11-23
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公开(公告)号: CN117276349B公开(公告)日: 2024-04-12
- 发明人: 赵东艳 , 郁文 , 陈燕宁 , 刘芳 , 吴波 , 付振 , 邓永峰 , 王凯 , 赵扬 , 朱亚星
- 申请人: 北京智芯微电子科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
- 专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 北京智芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 孙璐璐
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/10 ; H01L29/423 ; H01L21/336 ; H01L27/02
摘要:
本申请公开了一种抗辐射动态阈值调制半导体器件、工艺、电路及芯片,属于半导体技术领域。抗辐射动态阈值调制半导体器件包括顺次层叠的衬底、底栅层、底栅介质层、外延层、顶栅介质层和顶栅层,外延层包括沿横向依次排布的源区、体区、漂移区和漏区,底栅层位于体区和漂移区的正下方,顶栅层位于体区和漂移区的正上方,底栅层和顶栅层在体区和漂移区内形成方向相反的电场。在器件开态时,导电沟道形成于器件内部,远离器件表面,从而不易受外界辐射干扰,器件更稳定;此外,通过采用双栅结构,能够通过器件设计,双栅动态调控获得电路所需的不同阈值电压,从而节约了调整工艺参数及工序的成本。
公开/授权文献
- CN117276349A 抗辐射动态阈值调制半导体器件、工艺、电路及芯片 公开/授权日:2023-12-22
IPC分类: