本发明提出了一种金刚石晶圆片的激光高效精密加工装备，包括底座平台、龙门支撑架和上位机，龙门支撑架设置在底座平台上侧，所述底座平台上侧设置有水平运行平台模组，龙门支撑架上设置有第一激光出光模组、在位测量模组、第二激光出光模组、第一光路反射模组、第一激光器、第二光路反射模组和第二激光器，第一激光出光模组、在位测量模组和第二激光出光模组在水平面上以“品”形设置在龙门支撑架前侧，第一激光出光模组、在位测量模组和第二激光出光模组设置在水平运行平台模组的上方，水平运动平台模组、第一激光出光模组、在位测量模组、第二激光出光模组、第一激光器和第二激光器均与上位机相连接。本发明克服了现有机械研磨抛光存在的问题。