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公开(公告)号：CN115302375B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202210759807.8
申请日：2022-06-29
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B24B27/00 , B24B37/10 , B24B37/34 , B24B29/02 , B24B49/12 , B24B57/02 , B24B7/22 , B23K26/08 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种金刚石晶圆片的高效高精复合加工装备及方法，底座上装设有加工运动平台组件，支撑架上装设有激光加工组件、研磨组件、抛光组件和检测组件，激光加工组件的高能量激光束可在待加工金刚石晶圆片表面聚焦和对金刚石晶圆片直线往复式辐照，进而实现对金刚石晶圆片的平坦化加工，研磨组件和抛光组件在激光加工组件的作用下实现进一步的高精研磨平坦化和光整抛光加工。本发明通过中央处理器控制上述部件实现金刚石晶圆片的高效率高精密平坦化加工及光整加工，能够一体集成激光加工、研磨和抛光三道工序，复合加工、优势互补，解决了激光高精抛光成本高、机械研磨抛光易损伤表面且效率低的问题，提升了加工效率，降低了废品率。
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公开(公告)号：CN118123230A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410392247.6
申请日：2024-04-02
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B23K26/062
摘要： 本发明提出了一种用于金刚石加工的振镜发射激光能量规律性分布的调控方法，涉及激光加工的技术领域，包括以下步骤：设置激光加工参数及加工图形的绘制：设置激光发射器参数，在激光软件加工控制系统中绘制线段，确定激光束与加工平台水平面间的入射角；在线宽测试物上打标：放大线宽测试物上打标线段的线宽粗、细的不同趋势，调控振镜发射激光轨迹，进行打标；能量密度差异性检测：进行线宽宽度测量，根据测量结果，进行能量密度判定；能量规律性分布调控：对绘制线段进行能量均匀性分布调控，根据待加工物预加工的形状特征对绘制线段进行能量规律、非均匀性分布调控；绘制并导入新图形；激光加工金刚石。本发明可以通过调控金刚石表面能量的均匀性排布，达到消除能量误差，提升精度到极高水平，通过调控金刚石表面激光能量的规律、非均匀性分布排布，实现特殊形貌的加工。
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公开(公告)号：CN117583742A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311663817.2
申请日：2023-12-06
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B23K26/36 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/70 , B23K101/40
摘要： 本发明提出了一种金刚石晶圆片的激光高效精密加工装备，包括底座平台、龙门支撑架和上位机，龙门支撑架设置在底座平台上侧，所述底座平台上侧设置有水平运行平台模组，龙门支撑架上设置有第一激光出光模组、在位测量模组、第二激光出光模组、第一光路反射模组、第一激光器、第二光路反射模组和第二激光器，第一激光出光模组、在位测量模组和第二激光出光模组在水平面上以“品”形设置在龙门支撑架前侧，第一激光出光模组、在位测量模组和第二激光出光模组设置在水平运行平台模组的上方，水平运动平台模组、第一激光出光模组、在位测量模组、第二激光出光模组、第一激光器和第二激光器均与上位机相连接。本发明克服了现有机械研磨抛光存在的问题。
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公开(公告)号：CN114669884B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202210528615.6
申请日：2022-05-16
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于水平液面调控的激光加工金刚石平坦化的装置，包括激光加工组件、加工储液槽、阻光吸热辅助加工液、液流循环装置和液面控制装置，所述的加工储液槽内水平放置固定待加工金刚石片，所述的加工储液槽的两端分别水平开设有进液口和出液口，液流循环装置设置在进液口和出液口之间，液面控制装置用于精准调控激光加工过程中加工储液槽内液面的实时高度变化。本发明利用液面水平原理来保证金刚石加工表面的面型精度，利用黑色液体吸光吸热原理对金刚石表面低点区域进行保护，同时利用液体流动带走多余热量以及加工过程中产生的废渣，不污染空气，辅助加工液可循环利用；本发明无需大功率耗能部件，无需高精密运动部件，无需复杂工艺步骤，实现金刚石表面的高效平坦化加工，有利于环保节能，降低金刚
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公开(公告)号：CN114838661B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202210530599.4
申请日：2022-05-16
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种砂轮回转动态几何参数的在机检测方法，通过在机床上回转状态下，利用点激光位移传感器连续扫描采样砂轮外圆周面，从而实时获得砂轮不同转速条件下的外圆周面微观起伏位移数据，再针对采集数据依次进行定位识别、整周分段、滤波、插值、轮廓线生成、坐标变换、非线性曲线拟合、检测指标计算等处理步骤，获得砂轮升速或稳定转速条件下的回转膨胀量、跳动、圆度、几何偏心量、偏心位置等检测结果。
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公开(公告)号：CN110722468B
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201910970929.X
申请日：2019-10-12
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明提供了一种基于激光修整的磨粒有序化排布砂轮制造装置及方法，包括控制装置、激光发生装置、复合滤光装置和磨床；控制装置用于控制激光发生装置、复合滤光装置和磨床动作，激光发生装置包括激光器和聚焦模块，复合滤光装置包括复合滤光条和用于传送复合滤光条的传送模块，磨床用于夹持常规砂轮并驱动常规砂轮转动，所述的磨床的驱动轴上还设置有用于采集常规砂轮线速度的转速计；本发明在常规砂轮固结成形后，利用激光修整的方式实现磨粒或磨粒族有序化排布，对砂轮的制作工艺无任何特殊要求，避免了复杂的精细化操作，而且激光高效修整，过程中无设备材料损耗，提高了磨粒有序化排布砂轮的制作效率，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN110722468A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910970929.X
申请日：2019-10-12
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明提供了一种基于激光修整的磨粒有序化排布砂轮制造装置及方法，包括控制装置、激光发生装置、复合滤光装置和磨床；控制装置用于控制激光发生装置、复合滤光装置和磨床动作，激光发生装置包括激光器和聚焦模块，复合滤光装置包括复合滤光条和用于传送复合滤光条的传送模块，磨床用于夹持常规砂轮并驱动常规砂轮转动，所述的磨床的驱动轴上还设置有用于采集常规砂轮线速度的转速计；本发明在常规砂轮固结成形后，利用激光修整的方式实现磨粒或磨粒族有序化排布，对砂轮的制作工艺无任何特殊要求，避免了复杂的精细化操作，而且激光高效修整，过程中无设备材料损耗，提高了磨粒有序化排布砂轮的制作效率，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN118769072A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410791839.5
申请日：2024-06-19
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 , 郑州三磨超硬材料有限公司
IPC分类号： B24B19/02 , B24B19/22 , B24B41/04 , B24B41/06 , B24B49/16 , B24B49/12 , B24B1/00 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70 , B23K103/00
摘要： 本发明涉及机械加工技术领域，特别是指硬质晶舟异形表面高效高精开槽复合加工方法及加工设备，解决了现有技术中磨轮加工损耗快、效率低、精度差的问题，加工方法包括以下步骤：S1：建立晶舟工件的三维模型；S2：装夹晶舟毛坯件；S3：在位测量晶舟毛坯件定位坐标；S4：在晶舟毛坯件上激光加工收容槽轮廓；S5：在复合加工设备上安装磨轮；S6：在位测量磨轮特征参数及定位坐标；S7：磨轮精密磨抛晶舟半成品上的收容槽；S8：磨轮磨损度评测；S9：清洗、检测晶舟工件。有益效果是：融合了激光高效加工和磨轮精密磨抛的优势，解决碳化硅晶舟硬质、异形、槽型特殊等加工难题，满足一体式碳化硅晶舟表面异形位置上特殊廓形收容槽的高精度、高质量、高效率加工。
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公开(公告)号：CN114838661A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210530599.4
申请日：2022-05-16
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种砂轮回转动态几何参数的在机检测方法，通过在机床上回转状态下，利用点激光位移传感器连续扫描采样砂轮外圆周面，从而实时获得砂轮不同转速条件下的外圆周面微观起伏位移数据，再针对采集数据依次进行定位识别、整周分段、滤波、插值、轮廓线生成、坐标变换、非线性曲线拟合、检测指标计算等处理步骤，获得砂轮升速或稳定转速条件下的回转膨胀量、跳动、圆度、几何偏心量、偏心位置等检测结果。
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公开(公告)号：CN114669884A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210528615.6
申请日：2022-05-16
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
摘要： 本发明公开了一种基于水平液面调控的激光加工金刚石平坦化的装置，包括激光加工组件、加工储液槽、阻光吸热辅助加工液、液流循环装置和液面控制装置，所述的加工储液槽内水平放置固定待加工金刚石片，所述的加工储液槽的两端分别水平开设有进液口和出液口，液流循环装置设置在进液口和出液口之间，液面控制装置用于精准调控激光加工过程中加工储液槽内液面的实时高度变化。本发明利用液面水平原理来保证金刚石加工表面的面型精度，利用黑色液体吸光吸热原理对金刚石表面低点区域进行保护，同时利用液体流动带走多余热量以及加工过程中产生的废渣，不污染空气，辅助加工液可循环利用；本发明无需大功率耗能部件，无需高精密运动部件，无需复杂工艺步骤，实现金刚石表面的高效平坦化加工，有利于环保节能，降低金刚石加工成本。
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