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公开(公告)号：CN118769072A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410791839.5
申请日：2024-06-19
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 , 郑州三磨超硬材料有限公司
IPC: B24B19/02 , B24B19/22 , B24B41/04 , B24B41/06 , B24B49/16 , B24B49/12 , B24B1/00 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70 , B23K103/00
Abstract: 本发明涉及机械加工技术领域，特别是指硬质晶舟异形表面高效高精开槽复合加工方法及加工设备，解决了现有技术中磨轮加工损耗快、效率低、精度差的问题，加工方法包括以下步骤：S1：建立晶舟工件的三维模型；S2：装夹晶舟毛坯件；S3：在位测量晶舟毛坯件定位坐标；S4：在晶舟毛坯件上激光加工收容槽轮廓；S5：在复合加工设备上安装磨轮；S6：在位测量磨轮特征参数及定位坐标；S7：磨轮精密磨抛晶舟半成品上的收容槽；S8：磨轮磨损度评测；S9：清洗、检测晶舟工件。有益效果是：融合了激光高效加工和磨轮精密磨抛的优势，解决碳化硅晶舟硬质、异形、槽型特殊等加工难题，满足一体式碳化硅晶舟表面异形位置上特殊廓形收容槽的高精度、高质量、高效率加工。
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公开(公告)号：CN113927174B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202111207011.3
申请日：2021-10-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B23K26/362 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供了一种激光定点去除的金刚石平面加工方法及系统，包括由水平滑台电机驱动的水平单轴位移滑台、线型激光位移传感器、激光去除装置、载物平台和控制装置；首先，本发明利用实时检测金刚石表面高点区域和激光定点加工去除的方式，实现金刚石表面的精准高效非接触式加工，为金刚石表面平坦化加工提供了新方法和新装置，解决了目前行业内金刚石平面加工效率低、易损伤的难题；其次，本发明不受金刚石形状尺寸、材质类别等限制，通用性强，应用范围广；进一步的，本发明可精准控制激光加工的区域和次数，避免产生无效加工和过量加工，不仅大大提高加工效率，还可以有效降低加工成本。
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公开(公告)号：CN115683906B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202211454241.4
申请日：2022-11-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N3/42
Abstract: 本发明公开了一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法，通过连续压痕试验测试衬底材料的损伤层深度，提出微压痕测试的方法来评估CVD金刚石加工表面的总损伤，微压痕试验引起的损伤足够小，可以在加工过程中消除；具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于金刚石材料不同加工流程中损伤层的快速检测与评价，为优化材料加工参数以及下一道工序的加工时间有一定的指导意义。
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公开(公告)号：CN115683906A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211454241.4
申请日：2022-11-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N3/42
Abstract: 本发明公开了一种快速检测CVD单晶金刚石损伤层深度的方法，通过连续压痕试验测试衬底材料的损伤层深度，提出微压痕测试的方法来评估CVD金刚石加工表面的总损伤，微压痕试验引起的损伤足够小，可以在加工过程中消除；具有快速、低成本、操作性强等特点，可以用于金刚石材料不同加工流程中损伤层的快速检测与评价，为优化材料加工参数以及下一道工序的加工时间有一定的指导意义。
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公开(公告)号：CN113743347A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202111068108.0
申请日：2021-09-13
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种考虑质量波动共振声混料机实时固有频率识别方法，其步骤为：首先，利用电流传感器和加速度传感器分别采集处于受迫振动状态的混料机的电流信号和加速度信号，并对采集到的电流信号和加速度信号进行预处理；其次，根据预处理后的电流信号计算混料机音圈电机的激振力信号；然后，建立线性神经网络训练模型，将激振力信号作为混料机输入值，将预处理后的加速度信号作为混料机输出值，利用输入值和输出值对线性神经网络训练模型进行训练，训练完成后输出权值矩阵；最后，根据振动原理和权值矩阵计算混料机的实时固有频率。本发明能够控制音圈电机激振力的频率与混料机固有频率保持一致，使混料机在共振状态下稳定运行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113203797A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110598412.X
申请日：2021-05-31
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G01N29/12
Abstract: 本发明的目的是提供一种金刚石片裂纹检测方法与装置，减少对传统裂纹检测方法对从业人员经验以及专业技术的依赖，提高了工业生产的检测效率及裂纹检测的准确性，根据待检测CVD金刚石片在白噪声激励下的振动响应信号，对其进行时间序列分析建立ARMA模型，时间序列ARMA模型参数中包含有结构系统的固有特性，通过计算机算法可以识别出待检测金刚石片一阶或多阶固有频率，采用时间序列分析方法，识别出待检测金刚石片一阶固有频率，及构造金刚石裂纹程度识别指标，计算待检测金刚石片与无裂纹金刚石片裂纹程度识别指标差异量，进一步判断金刚石片存在裂纹程度。
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公开(公告)号：CN112420582A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011353653.X
申请日：2020-11-27
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，包括吸盘底座、设于吸盘底座上的U型滑台装置以及控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统，滑台微调系统与U型滑台装置通过齿轮啮合定位，U型滑台装置上方还固设有用于吸附的微孔陶瓷；U型滑台装置包括U型滑台上部和U型滑台下部，且U型滑台上部和U型滑台下部通过对应布设的槽结构滑动配合，并通过配设在U型滑台上部的滑台紧固件锁紧固定。该用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，通过U型滑台装置和控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统的布设，可以实现调节衬底的倾斜角度，进而能够以最优的加工方向对衬底进行划片加工，减少崩边的尺寸，提高加工质量和晶圆的利用率。
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公开(公告)号：CN115302375B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202210759807.8
申请日：2022-06-29
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24B27/00 , B24B37/10 , B24B37/34 , B24B29/02 , B24B49/12 , B24B57/02 , B24B7/22 , B23K26/08 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种金刚石晶圆片的高效高精复合加工装备及方法，底座上装设有加工运动平台组件，支撑架上装设有激光加工组件、研磨组件、抛光组件和检测组件，激光加工组件的高能量激光束可在待加工金刚石晶圆片表面聚焦和对金刚石晶圆片直线往复式辐照，进而实现对金刚石晶圆片的平坦化加工，研磨组件和抛光组件在激光加工组件的作用下实现进一步的高精研磨平坦化和光整抛光加工。本发明通过中央处理器控制上述部件实现金刚石晶圆片的高效率高精密平坦化加工及光整加工，能够一体集成激光加工、研磨和抛光三道工序，复合加工、优势互补，解决了激光高精抛光成本高、机械研磨抛光易损伤表面且效率低的问题，提升了加工效率，降低了废品率。
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公开(公告)号：CN113777915B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202111107084.5
申请日：2021-09-22
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: G05B11/42
Abstract: 本发明提出了一种共振式混料机的通用型控制方法，其步骤为：根据混合物料的类型和重量信息自动初始化系统参数，采集力传感器和加速度传感器的电信号，并对其进行标定、滤波以及信号特征参量的计算；根据特征参量利用模糊PID控制器闭环反馈控制输出激振力的实时频率和实时幅度；再由信号特征参量、激振力的实时频率和实时幅度对混料机进行空载判断及安全自检，便于异常工作状态时自动控制混料机停止工作；最后，根据稳定工作共振状态下的数据更新数据库，同时根据加速度信号的频率、幅值调节优化系统模型。本发明适用于各种类型的共振式混料机，降低设备控制系统开发难度，使用时不依赖人员经验，实现开发过程和应用操作的简单化、智能化。
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公开(公告)号：CN113850800A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111207012.8
申请日：2021-10-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提供了一种硬脆材料划切缝崩边检测方法，包括以下步骤：步骤1：获取待测硬脆材料划切缝视场图像；步骤2：对所述的划切缝视场图像进行处理，得到降噪预处理后的二值化图像；步骤3：根据所述的降噪预处理后的二值化图像的图像矩阵识别出划切区域；步骤4：计算所述的图像矩阵中单位像素所代表的实际宽度尺寸；步骤5：采用描点的方式得出划切缝边缘轮廓曲线；步骤6：通过峰值提取法识别并统计出划切缝崩口数量、位置及高度信息；本发明通过提取划切槽崩边边缘曲线像素点坐标参数，进而拟合边缘基准线，通过计算曲线峰值点坐标与基准线的距离所占像素数得出崩口高度数据，可以避免因工件摆放倾斜对崩口检测的影响，提高了准确性与易用性。
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