一种非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法、声表面波器件及其制备方法，属于声表面波器件领域。非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法包括：在r晶面取向的蓝宝石衬底的表面沉积氮化铝多晶薄膜，随后连续进行多次高温退火，获得a面氮化铝单晶薄膜；其中，高温退火包括在保持内部气压不变的前提下依次进行的升温处理、保温处理以及降温处理；通过震荡退火方式并结合每次高温退火时的气氛变化，有利于获得高质量a面氮化铝单晶薄膜，能够应用于声表面波器件的制备，有效提高声表面波器件的良率及性能。