发明公开
CN117855272A 开关元件
审中-实审
- 专利标题： 开关元件
-
申请号： CN202311237295.X申请日： 2023-09-25
-
公开(公告)号： CN117855272A公开(公告)日： 2024-04-09
- 发明人: 斋藤顺
- 申请人： 株式会社电装 , 丰田自动车株式会社 , 未来瞻科技株式会社
- 申请人地址： 日本爱知县; ;
- 专利权人： 株式会社电装,丰田自动车株式会社,未来瞻科技株式会社
- 当前专利权人： 株式会社电装,丰田自动车株式会社,未来瞻科技株式会社
- 当前专利权人地址： 日本爱知县; ;
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 朴勇
- 优先权： 2022-161714 20221006 JP
- 主分类号： H01L29/78
- IPC分类号： H01L29/78 ; H01L29/423 ; H01L29/10
摘要：
开关元件具有源极电极(48)和在设置于半导体基板(12)的多个沟槽(20)内配置的栅极电极(42)。在将各沟槽的长度方向设为第一方向且第二方向与所述第一方向交叉时，各沟槽以满足如下的条件的方式一边向第二方向位移一边沿着第一方向延伸，所述的条件是：由相邻的沟槽夹持的半导体区域即各沟槽间区域(30)具有多个窄幅部(31)和与窄幅部相比在第二方向上的宽度更宽的多个宽幅部(32)；以及在半导体基板的上表面上窄幅部与宽幅部沿着第一方向交替地配置且窄幅部与宽幅部隔着沟槽沿着第二方向交替地配置。源极区域(50)跨窄幅部和宽幅部地分布，在宽幅部内与源极电极相接。
IPC分类:
