本发明涉及一种TOPCon电池隧穿氧化层的制备方法，属于光伏电池制备技术领域。包括：对N型硅片的正面和背面进行制绒处理；对完成制绒处理的N型硅片正面进行硼扩处理；对完成硼扩处理的N型硅片的正面进行氧化处理；对完成氧化处理的N型硅片背面进行去BSG处理；对完成去BSG处理的N型硅片背面依次进行碱抛处理、碱洗处理和酸洗处理；在完成酸洗处理的N型硅片背面沉积隧穿氧化层。通过在酸洗处理过程中使用氢氟酸和氯化氢的混合溶液，可将游离的氧原子与N型硅片背面进行氧化反应后形成的自然氧化层去除，从而提高隧穿氧化层沉积的均匀性和最终的钝化效果，进而提高TOPCon电池的工作效率。