Invention Publication

涂覆装置
Abstract:
本发明涉及涂覆装置,该涂覆装置(1)具备用于对基材供给涂液的涂覆歧管(110)、对涂覆歧管供给涂液的供给流路(200)、以及将供给流路与涂覆歧管连结的连结流路(300)。连结流路(300)包括至少一个分支部(310),至少一个分支部(310)分支成流路距离互相相等的两个分支流路(A、B)。
Patent Agency Ranking
0/0