本发明公开了一种晶圆平整度的检测装置及方法，包括箱体，所述箱体的内部底端安装有斜台，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体的内部后侧固定连接有两组固定块，两组所述固定块之间转动连接有转动板，所述箱体的内部顶端通过安装有升降机构与升降板连接，所述升降板的下方设置有检测头。本发明设置有升降机构，从而改变了检测头的高度，其次在平整度检测结束后，通过启动驱动电机的输出端带动其中一组齿轮转动，使得两组第一丝杆同步转动，带动两组活动座同步运动，两组连接臂同步转动，带动转动板转动，使得转动板的前侧倾斜向下，使得检测结束后的晶圆掉落在箱体的内部底端，最后通过斜台滑落至收集箱的内部进行收集。