公开(公告)号：CN118583113A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410830641.3

申请日：2024-06-25

申请人： 浙江晶睿电子科技有限公司

发明人： 陈浩 ,  张峰 ,  顾凯峰 ,  吴城垦 ,  寿浙琼 ,  张羽丰 ,  柴晓程 ,  冯磊

IPC分类号： G01B21/30 ,  H01L21/66 ,  H01L21/687

摘要： 本发明公开了一种晶圆平整度的检测装置及方法，包括箱体，所述箱体的内部底端安装有斜台，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体的内部后侧固定连接有两组固定块，两组所述固定块之间转动连接有转动板，所述箱体的内部顶端通过安装有升降机构与升降板连接，所述升降板的下方设置有检测头。本发明设置有升降机构，从而改变了检测头的高度，其次在平整度检测结束后，通过启动驱动电机的输出端带动其中一组齿轮转动，使得两组第一丝杆同步转动，带动两组活动座同步运动，两组连接臂同步转动，带动转动板转动，使得转动板的前侧倾斜向下，使得检测结束后的晶圆掉落在箱体的内部底端，最后通过斜台滑落至收集箱的内部进行收集。

公开(公告)号：CN118464791A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410562986.5

申请日：2024-05-08

申请人： 浙江晶睿电子科技有限公司

发明人： 张羽丰 ,  陈浩 ,  张峰 ,  顾凯峰 ,  吴城垦 ,  寿浙琼 ,  柴晓程 ,  冯磊

IPC分类号： G01N21/01 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  B08B6/00 ,  B08B5/02 ,  B25B11/00

摘要： 本发明公开了一种晶圆颗粒的表面检测设备，涉及检测设备技术领域，包括检测机台，所述检测机台的上表面中部左右两侧均固定连接有限位滑轨，两个所述限位滑轨的表面均滑动连接有滑动块，两个所述限位滑轨前后两侧末端均固定连接有限位块，两个所述滑动块的上方均固定连接有连接块，两个所述连接块的上方设置有夹持组件，所述检测机台的上表面中部与两根限位滑轨之间设置有移动组件，所述检测机台上表面后侧左右两侧均固定连接有立柱，两根所述立柱之间设置有检测组件，所述检测机台左侧后端设置有气源。对中夹持可以实现较高的对中精度，有助于防止晶圆在检测过程中发生移动或旋转，提高了检测的稳定性。

公开(公告)号：CN118357992A

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN202410562851.9

申请日：2024-05-08

申请人： 浙江晶睿电子科技有限公司

发明人： 柴晓程 ,  吴城垦 ,  张峰 ,  顾凯峰 ,  陈浩 ,  张羽丰 ,  寿浙琼 ,  冯磊

IPC分类号： B26D7/18 ,  B26D7/32 ,  B26D7/27 ,  B26D7/10 ,  B26D7/00

摘要： 本发明公开了一种去边机废料收取装置及其使用方法，包括机架，所述机架的右侧设置有切割台，所述切割台的顶端中部安装有切割板，所述切割台的顶端左侧焊接有U型架，所述U型架的内部设置有基层料辊和喷胶头。本发明设置有加热机构，通过伺服电机的输出端带动主齿轮转动，带动两个导向辊相对运动，从而便于根据其厚度调节其与加热管之间的距离且同时，带动加热管移动，能够有效的避免基层复合料接触到加热管，防止受到破坏的情况发生，实用性较强，又设置有下料机构，通过下料电机的输出端带动下料丝杆转动，使得连臂逆时针转动，带动切割台逆时针转动，从而使得切割台的右端被抬起，使得废料从切割台的左端滑落至收废箱中。