Invention Publication
CN118737894A 粒子束检查装置
审中-实审
- Patent Title: 粒子束检查装置
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Application No.: CN202410737231.4Application Date: 2019-07-11
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Publication No.: CN118737894APublication Date: 2024-10-01
- Inventor: J·G·戈森 , 陈德育 , D·H·C·范班宁 , E·C·卡迪杰克 , M·P·C·范赫尤门 , 王二恒 , J·A·H·M·雅各布斯
- Applicant: ASML荷兰有限公司
- Applicant Address: 荷兰维德霍温
- Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee Address: 荷兰维德霍温
- Agency: 北京市金杜律师事务所
- Agent 张宁
- Priority: 62/869,986 20190702 US 62/869,986 20190702 US
- Main IPC: H01L21/67
- IPC: H01L21/67 ; G03F7/20 ; H01L21/687 ; H01L21/677
Abstract:
公开了一种改进的粒子束检查装置，并且更具体地，公开了一种包括改进的装载锁定单元的粒子束检查装置。一种改进的装载锁定系统可以包括被配置为支撑晶片的多个支撑结构和包括被配置为调节晶片的温度的传热元件的调节板。装载锁定系统还可以包括被配置为在调节板与晶片之间提供气体的排气孔和被配置为辅助对传热元件的控制的控制器。
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IPC分类:
