发明公开
- 专利标题： 一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统
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申请号： CN202410795450.8申请日： 2024-06-19
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公开(公告)号： CN118814143A公开(公告)日： 2024-10-22
- 发明人: 钟广超 , 符慧能 , 黄心沿 , 周佑丞 , 张春成 , 谭瞻
- 申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址： 湖南省长沙市高新区麓谷街道东方红中路559号
- 专利权人： 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人： 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市高新区麓谷街道东方红中路559号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 廖元宝
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; C23C16/50
摘要：
本发明公开了一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统，方法包括步骤：淀积开始后，判断是否有电弧产生；当采集一个Ton里,有电弧的产生且Tarc/Ton≤a％时，在Blinkon周期的最后补偿上因灭弧损失的舟波数；当采集到一个Ton里a％ a。本发有具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。
IPC分类:
