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公开(公告)号：CN118814143A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410795450.8
申请日：2024-06-19
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统，方法包括步骤：淀积开始后，判断是否有电弧产生；当采集一个Ton里,有电弧的产生且Tarc/Ton≤a％时，在Blinkon周期的最后补偿上因灭弧损失的舟波数；当采集到一个Ton里a％ a。本发有具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。
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公开(公告)号：CN111515988A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010397810.0
申请日：2020-05-12
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种可抓取多个石墨舟的机械手及机械手的抓取方法，机械手包括多个安装主体，安装主体包括安装座、上固定座、下伸缩座，安装座可升降的设在净化台上，上固定座与安装座固定连接，下伸缩座可移动的设在上固定座的下端面，各安装主体中，头尾两端的安装主体上各设一个托盘组件，中间的每个安装主体上设置两个托盘组件，托盘组件可移动的设在下伸缩座上，相邻两个安装主体上的托盘组件构成一对。方法包括：石墨舟到位、机械手抓取舟、机械手将舟放在上下料桨上或先将舟放在缓存架上在放在上下料桨上、送舟入室、取舟出室、机械手取舟放缓存架上、机械手取舟放回初始位置。本发明的机械手一次可抓取多个石墨舟，提高了产能。
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公开(公告)号：CN110408913A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910790348.8
申请日：2019-08-26
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/52
摘要： 本发明公开了管式PECVD设备的压力控制装置，包括至少一组反应室，每组反应室对应设有VAT阀和主抽泵，各组反应室共用一个预抽泵，每组反应室包括第一反应室和第二反应室，每组反应室中的第一反应室通过第一主管路与主抽泵连通，第二反应室通过第二主管路与主抽泵连通，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，汇流管路与主抽泵连接，VAT阀设于汇流管路上，各组反应室中的第一反应室均通过第一支管路与预抽泵连接，各组反应室中的第二反应室均通过第二支管路与预抽泵连接。本发明的核心在于两管共用主抽泵时，工艺过程是错开的，相当于时刻都只有一个主抽泵为一个反应室工作，其余时间另一管利用预抽泵工作，大大降低了设备的成本。
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公开(公告)号：CN105651061B
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201610042355.6
申请日：2016-01-22
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： F27D3/06
摘要： 一种由PLC闭环控制的伸缩性滑台装置，包括：滑动部件，包括沿着石英舟座运动方向布置的两条线性导轨，分别位于左右两侧的导轨安装板上；用来带着石英舟座运动的滑块滑设于线性导轨上并由驱动部件驱动；驱动部件，包括步进电机和减速机；传动部件，包括左主动轮装配、右主动轮装配、及两根连接杆，连接杆由驱动部件来驱动，并驱动左主动轮装配、右主动轮装配，左主动轮装配、右主动轮装配再分别通过同步带带着左滑块安装板和右滑块安装板及两块安装板上的滑块沿着线性导轨运动，滑块上则安装有石英舟座；PLC控制部件，用来对驱动部件进行控制。本发明具有结构简单紧凑、操作简便、控制精度和可靠性好等优点。
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公开(公告)号：CN116607128A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310534597.7
申请日：2023-05-11
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/44 , C23C16/50
摘要： 本发明公开了一种进气炉门及包含其的管式PECVD反应室，包括：炉门本体、缓冲组件和气体导流组件，所述缓冲组件设置在炉门本体外侧，用于调节进气炉门上的预应力；至少两组所述气体导流组件对称设置在炉门本体内侧，且气体导流组件的输入端与输送工艺气体的进气管连接，用于实现工艺气体沿炉门本体内侧面均匀扩散至管式PECVD反应室内部。本发明还公开了包含上述进气炉门的管式PECVD反应室。本发明具有结构紧凑、进气均匀、变形程度小且连接牢固等优点，提高了PECVD设备的运行稳定性。
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公开(公告)号：CN111926308B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202010861770.0
申请日：2020-08-24
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种等离子体放电异常的处理方法，其步骤包括：步骤S1：淀积工艺开始时，检测等离子体放电过程中输出电流Io是否超过最大电流设定值Imax，当Io＞Imax时，判断放电过程中有Imax电弧发生；若Io＜Imax，则继续比较Io是否超过电流设定值Ix，其中Ix＜Imax；步骤S2：当输出电流Io＞Ix时，同时需比较输出电压Uo是否超过电压设定值Ux；当Io＞Ix且Uo＜Ux时，判断放电过程中有U×I电弧发生；步骤S3：比较输出电压波动ΔU和设定值dU，当ΔU大于dU时，判断放电过程中有dU电弧发生。本发明具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。
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公开(公告)号：CN111636058B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010442305.3
申请日：2020-05-22
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种管式PECVD预热系统实验装置，包括预热箱、预热推舟机构、舟体转移机构和转移支撑架，预热箱设于炉体柜的一侧，预热推舟机构包括推舟导轨和推舟杆组，推舟导轨固定在净化台一侧，推舟导轨上设有推舟滑块，推舟杆组一端固定在推舟滑块上，另一端悬空并且朝向预热箱，推舟杆组上设有可在推舟杆组伸入预热箱之后关闭预热箱入口的预热箱门，转移支撑架固定在净化台上，舟体转移机构设于转移支撑架上，舟体转移机构包括舟体抓手、承重底座和升降组件，转移支撑架上设有转移导轨，升降组件设于承重底座上，升降组件与舟体抓手连接，承重底座可移动的设于转移导轨上。本发明具有可以快速验证石墨舟预热方案的可行性的优点。
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公开(公告)号：CN111129216B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201911303645.1
申请日：2019-12-17
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司 , 东方日升新能源股份有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0216
摘要： 本发明公开了用于制备PERC电池双面钝化膜的设备及其使用方法，设备包括第一净化台、第二净化台、第一炉管、第二炉管、第一石墨舟、第二石墨舟、插取片机械手、上料输送线和下料输送线，插取片机械手位于第一净化台、第二净化台、第一石墨舟与第二石墨舟围成的区域内，上料输送线包括依次设置的上料花篮、上料传输带和上料存储架，下料输送线包括依次下料花篮、下料传输带和下料存储架。方法包括上料输送、一次插片、背面叠层膜的制备、一次卸片、二次插片、正面减反射钝化膜、二次卸片、下料输送。本发明可在同一台设备内完成背面钝化膜、背面覆盖层和正面减反射钝化膜三种膜制备。
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公开(公告)号：CN109659401B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201910019668.3
申请日：2019-01-09
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种高温设备的净化台，包括主框架、碳化硅桨、碳化硅桨运动模组和插片机对接机构，碳化硅桨运动模块组包括Z轴移动模块、Y轴移动模块和X轴伸缩模块，Z轴移动模块安装在主框架上，Y轴移动模块可移动的安装在Z轴移动模块上，X轴伸缩模块可移动的安装在Y轴移动模块上，碳化硅桨安装于X轴伸缩模块的伸出端，插片机对接机构包括对接导轨和可与碳化硅桨对接的支撑架，支撑架可移动的设于对接导轨上，对接导轨设于主框架的底部，支撑架与对接导轨之间设有用于避让碳化硅桨的对接避让区。本发明具有空间紧凑、互换性高、产能高、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN108050851B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201711239530.1
申请日：2017-11-30
申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司
IPC分类号： F27D17/00
摘要： 本发明公开了一种减压扩散炉尾气冷却装置，包括进气管、石英冷凝瓶、冷凝瓶套组件、进气端盖、抽气端盖、抽气管和冷却系统，石英冷凝瓶位于冷凝瓶套组件内，两端分别通过进气端盖和抽气端盖密封，石英冷凝瓶包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第二腔室套于第一腔室和第三腔室外部，第一腔室与第二腔室连通，第二腔室与第三腔室连通，进气管穿过进气端盖伸入第一腔室内，抽气管穿过抽气端盖伸入第三腔室内，进气管的气流方向与第一腔室内的气流方向相反，抽气管的气流方向与第三腔室内的气流方向相反，冷却系统包括分设于第二腔室和第三腔室内的第一冷却部件和第二冷却部件。本发明可使尾气在小空间内长距离运动，增加尾气与冷却部件的接触面积。
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