发明公开
CN1208246A 用流体分离组合元件的方法和装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用流体分离组合元件的方法和装置
- 专利标题（英）： Method and apparatus for separating composite member using fluid
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申请号： CN98102954.X申请日： 1998-03-27
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公开(公告)号： CN1208246A公开(公告)日： 1999-02-17
- 发明人: 近江和明 , 米原隆夫 , 坂口清文 , 柳田一隆
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 付建军
- 优先权： 075498/97 1997.03.27 JP; 138477/97 1997.05.28 JP
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/70
摘要：
为分离由多个键合元件组成的组合元件而不将其破坏或损坏,从喷嘴对着组合元件喷射流体,以便在与键合位置不同的位置将组合元件分离成多个元件。
公开/授权文献
- CN1157762C 组合元件的分离方法和制作一种半导体基底的方法 公开/授权日：2004-07-14