半导体衬底、半导体薄膜以及多层结构的制造工艺

    公开(公告)号:CN1241803A

    公开(公告)日:2000-01-19

    申请号:CN99109898.6

    申请日:1999-05-14

    IPC分类号: H01L21/00

    摘要: 半导体衬底制造工艺,包括:准备第1衬底的步骤,该衬底有经过氢退火的表面层部分;分离层的形成步骤,从表面层部分一侧把氢之类的离子注入第1衬底。从而形成分离层;相互键合第1硅衬底与第2硅衬底的键合步骤,使表面层部分位于内部,从而形成多层结构;以及利用分离层分离多层结构的转移步骤,从而把表面层部分的低缺陷层转移到第2衬底上。该低缺陷层是体晶片中减少了COP和FPD等固有缺陷的单晶体硅层。

    半导体产品及其制造方法

    公开(公告)号:CN1225500A

    公开(公告)日:1999-08-11

    申请号:CN98127198.7

    申请日:1998-12-25

    IPC分类号: H01L21/02 H01L21/00

    CPC分类号: H01L21/2007 H01L21/76259

    摘要: 一种半导体产品的制造方法,包括以下步骤:至少在半导体衬底的一个表面上形成含有能够控制导电类型的元素的掺杂层,将掺杂层的表面更改成多孔状态以得到比掺杂层薄的多孔层,在多孔层上形成无孔层以制备第一产品,键合所述第一产品和第二产品以便生产出在其内部具有所述多孔层的多层结构,以及沿所述多孔层分离所述多层结构。