实用新型
CN202989354U 高温减压扩散炉
失效 - 权利终止
- 专利标题: 高温减压扩散炉
- 专利标题(英): High-temperature pressure reducing diffusion furnace
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申请号: CN201220550189.8申请日: 2012-10-25
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公开(公告)号: CN202989354U公开(公告)日: 2013-06-12
- 发明人: 吴得轶 , 龙辉 , 禹庆荣 , 成秋云
- 申请人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人: 湖南红太阳光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号
- 代理机构: 长沙正奇专利事务所有限责任公司
- 代理商 马强
- 主分类号: C30B31/10
- IPC分类号: C30B31/10 ; C30B31/16
摘要:
本实用新型涉及高温减压扩散炉,包括石英管,石英管的一端为石英管口并在石英管口处装石英门,而石英管的另一端与工艺气体排气管连接,所述石英管口包括同圆心的石英管内端口和置于石英管内端口外侧且半径大于石英管内端口半径的石英管外端口;所述石英门安装在石英管内端口,而石英管外端口安装不锈钢炉门,所述石英门与不锈钢炉门构成过渡腔,并在过渡腔内的石英门与不锈钢炉门之间安装缓冲固定装置;所述不锈钢门上设有向过渡腔内通入气体的吹扫气体进气口和从过渡腔内排放气体的吹扫气体排气口。本实用新型通过设置过渡密封腔,大幅减少了石英门两端的压力差和石英门的受力,简化了石英门的设计,大幅降低了石英的应力损伤。
IPC分类: