公开(公告)号：CN117737696A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311764893.2

申请日：2023-12-20

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 黄心沿 ,  禹庆荣 ,  张春成 ,  吴得轶 ,  盛旭 ,  颜湘 ,  吕新春 ,  黄影

IPC分类号： C23C16/44 ,  B01D53/30 ,  B01D53/00 ,  C23C16/52

摘要： 本发明公开了一种CVD工艺设备的柔性尾气回收电路系统，包括加热单元、测温单元、加热开关单元和电子调节器，所述加热单元安装于所述尾气管路上，用于对尾气管路进行加热；所述测温单元安装于所述尾气管路上，用于检测所述尾气管路内的温度；所述测温单元与所述电子调节器相连，用于将检测的温度发送至电子调节器；所述加热开关单元的输入端与所述电子调节器相连，所述加热开关单元的输出端串联在所述加热单元的加热回路中，用于控制加热单元的开启与关闭。本发明能够将尾气管路的温度控制在设定在合理范围，来保证反应产物以气体形式进入尾气处理系统，而且具体过程全部自动完成，提高了系统的自动化水平。

公开(公告)号：CN202989354U

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201220550189.8

申请日：2012-10-25

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 吴得轶 ,  龙辉 ,  禹庆荣 ,  成秋云

IPC分类号： C30B31/10 ,  C30B31/16

摘要： 本实用新型涉及高温减压扩散炉，包括石英管，石英管的一端为石英管口并在石英管口处装石英门，而石英管的另一端与工艺气体排气管连接，所述石英管口包括同圆心的石英管内端口和置于石英管内端口外侧且半径大于石英管内端口半径的石英管外端口；所述石英门安装在石英管内端口，而石英管外端口安装不锈钢炉门，所述石英门与不锈钢炉门构成过渡腔，并在过渡腔内的石英门与不锈钢炉门之间安装缓冲固定装置；所述不锈钢门上设有向过渡腔内通入气体的吹扫气体进气口和从过渡腔内排放气体的吹扫气体排气口。本实用新型通过设置过渡密封腔，大幅减少了石英门两端的压力差和石英门的受力，简化了石英门的设计，大幅降低了石英的应力损伤。

公开(公告)号：CN202871741U

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201220550283.3

申请日：2012-10-25

申请人： 湖南红太阳光电科技有限公司

发明人： 成秋云 ,  禹庆荣 ,  吴得轶

IPC分类号： H01J37/32

摘要： 本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接并在单相低速电机输出轴与旋转平台旋转轴的连接处通过磁流体密封；所述源部件接口处安装进气法兰，并在进气法兰外周安装永磁体，且进气法兰外端面安装用于密封源部件接口的密封件。本实用新型采用永磁体提高了等离子体的密度，加快了刻蚀速率；能够实现一次装片800片，提高生产效率。