一种单晶炉用排气护套
摘要:
本实用新型公开了一种单晶炉用排气护套,包括排气管罩和排气套管;所述排气套管的底部与炉底单晶炉排气管连接;所述排气管罩通过可拆卸的方式卡接于排气套管的顶部,排气管罩的侧面环向均匀布置有两个以上的气流通道。该单晶炉用排气护套顶部采用排气管罩设计,实现气流的环向多角度横向进入利于炉内气流的稳定同时可避免漏硅时硅液进入排气管烧损设备;中部采用排气套管设计,避免堵塞,满足热场底部保温不同高度的调节;下部采用排气管隔离环设计,可有效避免热量向下传导,实现节能降耗的目的。
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