一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置及其方法

    公开(公告)号:CN111766151A

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN202010781810.0

    申请日:2020-08-06

    发明人: 郑伟扬 周宇

    IPC分类号: G01N3/08 G01N3/04 G01N3/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶硅棒抗拉强度的检测装置及其方法,包括两个夹具、四个石墨卡瓣和两个拉力机拉头;每个夹具通过两片对称的夹具框抱合后四周固定而成;夹具框内壁设有用于放置石墨卡瓣的凹槽;石墨卡瓣两个为一组,抱合于对应夹具的凹槽内;石墨卡瓣的内壁设有卡合单晶硅棒端部的凹槽;单晶硅棒由两端凸起的硅棒端部以及中部的硅棒测试段所组成;待测试的单晶硅棒位于两侧的夹具之间,两端的硅棒端部分别卡合于两侧的夹具内;夹具远离单晶硅棒的端部,分别与对应的拉力机拉头固定连接,通过两个拉力机拉头施加的水平拉力,拉动两个夹具朝着水平相反方向移动,直至将单晶硅棒的硅棒测试段拉断。

    一种单晶炉用双底加热器

    公开(公告)号:CN113293432A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202110608579.X

    申请日:2021-06-01

    发明人: 郑伟扬

    IPC分类号: C30B15/14 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用双底加热器,包括两个结构相同的上部底加热器和下部底加热器,以及一组陶瓷支架;上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方,二者之间通过一组陶瓷支架架设在一起,使得上部底加热器和下部底加热器彼此之间不相互接触。上、下部底加热器结构相同,均包括两端的凸台式加热器脚板以及连接于两端凸台式加热器脚板并联的发热体;凸台式加热器脚板的底部和发热体的底部持平,顶部凸起高于发热体;当上部底加热器倒扣在下部底加热器的上方时,上部底加热器的两端凸台式加热器脚板底部与下部底加热器的底部持平。该双底加热器的配合使用将实现功率供给热量翻倍,加快化料速度的目的,可避免单个底加断裂而导致的焖炉事故。

    一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法

    公开(公告)号:CN113070298A

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN202110307867.1

    申请日:2021-03-23

    摘要: 本发明公开了一种自旋式热屏快速清理装置和使用方法,所述装置包括挂钩组件、第一腔体、第二腔体和第三腔体,挂钩组件贯穿第一腔体的一端面,与第一腔体转动连接;第一腔体的另一端面与第二腔体的一端面固定连接;第二腔体的另一端面与第三腔体的一端面固定连接;第二腔体包括氩气腔体、排气腔体和固定在氩气腔体和排气腔体间的隔板;氩气腔体的侧面固定连接有进气阀,排气腔体与第三腔体连通;隔板上固定连接有热敏开关控制阀,热敏开关控制阀固定连接有回旋式排气道;第三腔体内固定连接有涡轮式导气盘,第三腔体侧面开设有两个以上的排气孔。使用该装置能够将热屏内壁的硅粉清理干净,避免拉晶时硅粉掉落对于炉台成晶的影响。

    一种单晶炉用炉底加热器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111778550A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN202010685133.2

    申请日:2020-07-16

    发明人: 郑伟扬 王思锋

    IPC分类号: C30B15/14 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉用炉底加热器,包括发热体和加热器脚板;所述发热体包括若干条状的发热部,所述发热部以同一圆心呈发射状分布,每个发热部的端部彼此连接,从而形成一环形的回路,且发热体的中心留空;每个发热部的内侧一端水平,从而构成一圆形的支撑面,中部向外侧的部分逐渐向上倾斜,外侧的端部设有一垂直向下的支撑面;所述加热器脚板设置于发热体相对的两侧,其为水平的板面,与对应的发热部外端支撑面相连接,且位于支撑面的底部,与其他发热部外端支撑面底部持平;所述加热器脚板上设有用于连接电极的石墨螺栓孔。

    一种直拉单晶装料方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113430645A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110709832.0

    申请日:2021-06-25

    发明人: 郑伟扬

    IPC分类号: C30B29/06 C30B15/02

    摘要: 本发明公开了一种直拉单晶装料方法,首先在石英坩埚底部先装填小料,形成80‑120mm厚度的小料底层;然后在小料底层上部,依次堆叠大料,并每堆叠一层大料时,再用小料填充大料的间隙,直至填充至坩埚高度的2/3,形成大小料复合层;随后在大小料复合层的上方外围,紧贴坩埚内壁铺设大料,形成大料围合层,同时在大料围合层中间填充小料,形成小料填充层,直至距离石英坩埚顶部50‑60mm;最后在大料围合层和小料填充层上部平铺两层以上的片状原料,形成片状料覆盖层。本发明直拉单晶装料方法采用区域化原料配置实现快速化料及避免事故的目的。引入片状硅料封堵坩埚顶部减少热量损失避免低温氩气进入硅料间隙带走热量实现加快化料速度的目的。

    一种加料器用挂钩
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212713840U

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202021526809.5

    申请日:2020-07-28

    发明人: 郑伟扬 王思锋

    IPC分类号: C30B15/02

    摘要: 本实用新型公开了一种加料器用挂钩,包括U型挂钩、自锁式插销以及竖向活动杆;自锁式插销包括中部的金属连杆以及分别位于金属连杆两端的插头和销座;插头包括位于金属连杆头端向外凸出并相对设置的两个卡块;U型挂钩的开口端两侧分别设有用于自锁式插销穿过的贯穿孔;贯穿孔的形状与插头相匹配,当自锁式插销的插头依次穿过U型挂钩两侧的贯穿孔后,旋转自锁式插销90°使得卡块卡合在贯穿孔的外侧;竖向活动杆活动地贯穿于销座内,两端设有限位凸块,通过两端限位凸块限制竖向活动杆在销座纵向滑动;U型挂钩至少一侧底部设有一限位锁孔,限位锁孔位于竖向活动杆底部,当竖向活动杆向下滑动时,限位凸块能够向下落入下方限位锁孔内。

    一种单晶炉用可调节式电极

    公开(公告)号:CN215628424U

    公开(公告)日:2022-01-25

    申请号:CN202121943943.X

    申请日:2021-08-18

    发明人: 郑伟扬

    IPC分类号: C30B35/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型公开了一种单晶炉用可调节式电极,包括一对结构相同的电极组件,每组电极组件包括过渡电极、旋转电极、电极紧固螺栓、升降螺栓以及加热器紧固螺栓;所述旋转电极的一端通过电极紧固螺栓与过渡电极的顶部连接,另一端与升降螺栓螺纹连接;旋转电极端部能够围绕过渡电极旋转,并通过电极紧固螺栓进行固定;升降螺栓能够通过螺纹调节在旋转电极内的贯穿深度;所述加热器紧固螺栓通过螺纹的方式与升降螺栓顶部连接,用于将加热器的两端分别固定在两组电极组件的升降螺栓顶部。

    一种单晶炉用排气护套
    8.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214881922U

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202120143340.5

    申请日:2021-01-19

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型公开了一种单晶炉用排气护套,包括排气管罩和排气套管;所述排气套管的底部与炉底单晶炉排气管连接;所述排气管罩通过可拆卸的方式卡接于排气套管的顶部,排气管罩的侧面环向均匀布置有两个以上的气流通道。该单晶炉用排气护套顶部采用排气管罩设计,实现气流的环向多角度横向进入利于炉内气流的稳定同时可避免漏硅时硅液进入排气管烧损设备;中部采用排气套管设计,避免堵塞,满足热场底部保温不同高度的调节;下部采用排气管隔离环设计,可有效避免热量向下传导,实现节能降耗的目的。

    一种单晶炉用中轴护盘
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214694458U

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202121149668.4

    申请日:2021-05-26

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型公开了一种单晶炉用中轴护盘,其为一底部开口的盘状结构,包括环形的护盘侧壁、顶部用于承托石墨锅底的护盘顶座;通过底部的开口扣合在中轴盘上,护盘侧壁包合于中轴盘外壁上;所述护盘顶座的中心处,设有与上部石墨锅底适配的安装沉孔;所述的护盘侧壁的底部向外延伸,形成环形导流盘。该中轴护盘采用环形侧壁结合凸台及沉孔设计,保证匹配安装稳定性实现对中轴的无死角防护。采用外延式导流设计,避免硅液沿中轴进入下轴,损坏设备。该单晶炉用中轴护盘安装便捷,使用时只需将该部件放置于石墨埚底与中轴盘之间即可。一旦发生漏硅硅液沿埚底流经护盘不会对中轴盘及中轴造成损伤,可避免热场部件损失降低事故损失。

    一种大尺寸热场埚底提升装置

    公开(公告)号:CN212832368U

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202021522793.0

    申请日:2020-07-28

    发明人: 郑伟扬

    摘要: 本实用新型公开了一种大尺寸热场埚底提升装置,包括框架、提升架、吊钩、限位块以及提升臂;框架的底部开口,包括顶部环形横梁、底部环形横梁以及纵向加强筋;框架从待提升的大尺寸热场埚底上方放下,从而罩住该大尺寸热场埚底;提升架交叉地设置在顶部环形横梁上,其中部交叉点与吊钩连接,通过吊钩提升该框架整体上下移动;限位块平均地分布在顶部环形横梁上;所述提升臂纵向设置,自上而下依次贯穿限位块、顶部环形横梁和底部环形横梁,并能够水平转动;提升臂的底端设有一卡块,顶端设有一横杆,且卡块与横杆与提升臂同步转动;通过限位块限制横杆的位置,从而使得卡块能够卡入或脱离待提升的大尺寸热场埚底下方。