一种石英坩埚智能搬运系统
摘要:
本实用新型公开一种石英坩埚智能搬运系统,包括搬运架、载物系统和装卸系统,所述搬运架形成有左右方向上分布的准备区以及放置区,所述载物系统包括准备区载物部和放置区载物部,所述准备区载物部对应所述准备区设置,所述放置区载物部对应所述放置区设置,所述装卸系统包括前后方向上相对所述搬运架活动安装的夹持组件,所述夹持组件的活动行程经过所述准备区和所述放置区,所述夹持组件包括两个相对设置的吸附部,两个所述吸附部能够相互靠近以吸附夹持所述石英坩埚,且两个所述吸附部能够相互远离以松开所述石英坩埚。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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