发明公开
EP0068277A1 Method for passivating aluminum-based metallizations
失效
维尔法罕Zum Passivieren von auf铝basierendenMetallbelägen。
- 专利标题： Method for passivating aluminum-based metallizations
- 专利标题（中）： 维尔法罕Zum Passivieren von auf铝basierendenMetallbelägen。
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申请号： EP82105213.1申请日： 1982-06-15
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公开(公告)号： EP0068277A1公开(公告)日： 1983-01-05
- 发明人: Eldridge, Jerome Michael , Lee, Michael Heiwo , Schwartz, Geraldine Cogin
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Oechssler, Dietrich (DE)
- 优先权： US278949 19810630
- 主分类号： C23C8/00
- IPC分类号： C23C8/00 ; C23F1/00 ; C23F17/00 ; C23C14/00
摘要：
Aluminium-based alloy films and metallization layers that are patterned by reactive ion etching (RIE) are passivated by etching surface portions of the films or layers with a phosphoric-chromic mixture to remove contaminants and then oxidizing the exposed surface portions in an oxygen atmosphere.
公开/授权文献
- EP0068277B1 Method for passivating aluminum-based metallizations 公开/授权日：1986-02-05
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