发明授权
- 专利标题： System and method for neutralizing an ion beam using water vapor
- 专利标题（中）： 系统和方法，用于中和与蒸汽的离子束
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申请号： EP98305258.0申请日： 1998-07-02
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公开(公告)号： EP0893944B1公开(公告)日： 2003-01-15
- 发明人: Benveniste, Victor Maurice , Sinclair, Frank , Chen, Jiong
- 申请人： Axcelis Technologies, Inc.
- 申请人地址： 55 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 US
- 专利权人： Axcelis Technologies, Inc.
- 当前专利权人： Axcelis Technologies, Inc.
- 当前专利权人地址： 55 Cherry Hill Drive Beverly, MA 01915 US
- 代理机构： Burke, Steven David
- 优先权： US891688 19970711
- 主分类号： H05H3/02
- IPC分类号： H05H3/02 ; H01J37/317
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