发明公开
- 专利标题： INTEGRATED INTRA-BAY TRANSFER, STORAGE AND DELIVERY SYSTEM
- 专利标题（中）： 集成系统的传输，存储和储物箱路由
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申请号： EP99966286申请日： 1999-12-15
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公开(公告)号： EP1159212A4公开(公告)日： 2009-09-30
- 发明人: BONORA ANTHONY C , GOULD RICHARD H , BRAIN MICHAEL D , ADAMS DAVID V
- 申请人： ASYST TECHNOLOGIES
- 专利权人： ASYST TECHNOLOGIES
- 当前专利权人： ASYST TECHNOLOGIES
- 优先权： US11294798 1998-12-18
- 主分类号： B65G47/46
- IPC分类号： B65G47/46 ; H01L21/00 ; B65G1/00 ; B65G19/02 ; B65G47/90 ; B65G49/07 ; G01N35/04 ; H01L21/677
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