公开(公告)号：EP1159212A4

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：EP99966286

申请日：1999-12-15

申请人： ASYST TECHNOLOGIES

发明人： BONORA ANTHONY C ,  GOULD RICHARD H ,  BRAIN MICHAEL D ,  ADAMS DAVID V

IPC分类号： B65G47/46 ,  H01L21/00 ,  B65G1/00 ,  B65G19/02 ,  B65G47/90 ,  B65G49/07 ,  G01N35/04 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67775 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67763 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67769