发明公开
- 专利标题： METROLOGY SYSTEMS AND METHODS
- 专利标题（中）： 测量系统和程序
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申请号： EP10814430申请日： 2010-09-01
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公开(公告)号： EP2474027A4公开(公告)日： 2013-03-20
- 发明人: KANDEL DANIEL , LEVINSKI VLADIMIR , SVIZHER ALEXANDER , SELIGSON JOEL , HILL ANDREW , BACHAR OHAD , MANASSEN AMNON , CHUANG YUNG-HO ALEX , SELA ILAN , MARKOWITZ MOSHE , NEGRI DARIA , ROTEM EFRAIM
- 申请人： KLA TENCOR CORP
- 专利权人： KLA TENCOR CORP
- 当前专利权人： KLA TENCOR CORP
- 优先权： US23969909 2009-09-03; US87298810 2010-08-31
- 主分类号： G01N21/956
- IPC分类号： G01N21/956
摘要：
Various metrology systems and methods are provided.
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