公开(公告)号：EP2474027A4

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：EP10814430

申请日：2010-09-01

申请人： KLA TENCOR CORP

发明人： KANDEL DANIEL ,  LEVINSKI VLADIMIR ,  SVIZHER ALEXANDER ,  SELIGSON JOEL ,  HILL ANDREW ,  BACHAR OHAD ,  MANASSEN AMNON ,  CHUANG YUNG-HO ALEX ,  SELA ILAN ,  MARKOWITZ MOSHE ,  NEGRI DARIA ,  ROTEM EFRAIM

IPC分类号： G01N21/956

CPC分类号： G01N21/47 ,  G01B11/02 ,  G01B11/0641 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/4792 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/105 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

摘要： Various metrology systems and methods are provided.