发明公开
EP3118347A4 METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER FILM, AND MULTILAYER FILM
审中-公开
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEHRSCHICHIGEN FOLIE UND MEHRSCHICHTIGE FOLIE
- 专利标题： METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER FILM, AND MULTILAYER FILM
- 专利标题（中）： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEHRSCHICHIGEN FOLIE UND MEHRSCHICHTIGE FOLIE
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申请号： EP15761219申请日： 2015-03-03
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公开(公告)号： EP3118347A4公开(公告)日： 2017-09-13
- 发明人: KOBAYASHI HIROKI , HENMI MITSUNORI , HIROSE MITSUTAKA , TSUKAGOSHI KAZUYA , KIMURA ISAO , SUU KOUKOU
- 申请人： ULVAC INC
- 专利权人： ULVAC INC
- 当前专利权人： ULVAC INC
- 优先权： JP2014046814 2014-03-10
- 主分类号： C23C14/08
- IPC分类号： C23C14/08 ; C23C14/18 ; C23C14/35 ; H01L21/02 ; H01L21/316 ; H01L41/187 ; H01L41/316 ; H01L41/319
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