- 专利标题： FABRICATION OF NANOSTRUCTURED SUBSTRATES COMPRISING A PLURALITY OF NANOSTRUCTURE GRADIENTS ON A SINGLE SUBSTRATE
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申请号： EP16751476.9申请日： 2016-08-12
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公开(公告)号： EP3334682B1公开(公告)日： 2023-09-13
- 发明人: DIAO, Zhaolu , DIRKS, Jan-Henning , SPATZ, Joachim P.
- 专利权人： Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
- 当前专利权人： Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
- 当前专利权人地址： Hofgartenstrasse 8 80539 München DE
- 代理机构： v. Bezold & Partner Patentanwälte - PartG mbB
- 优先权： EP15002432 20150814
- 国际公布： WO2017028948 20170223
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00 ; G02B1/118 ; H01L21/3065 ; H01L21/308
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