Invention Patent
- Patent Title: 電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法
- Patent Title (English): Memory cell of resistive random access memory and manufacturing method thereof
- Patent Title (中): 电阻式随机存取内存之记忆胞及其制造方法
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Application No.: TW101119371Application Date: 2012-05-30
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Publication No.: TW201349238APublication Date: 2013-12-01
- Inventor: 李亨元 , LEE, HENG YUAN , 辜佩儀 , GU, PEI YI , 陳佑昇 , CHEN, YU SHENG
- Applicant: 財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- Applicant Address: 新竹縣
- Assignee: 財團法人工業技術研究院,INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- Current Assignee: 財團法人工業技術研究院,INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
- Current Assignee Address: 新竹縣
- Agent 詹銘文; 葉璟宗
- Main IPC: G11C13/00
- IPC: G11C13/00 ; G11C11/16 ; H01L21/8239
Abstract:
一種電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法。所述方法包括形成第一電極。在第一電極上形成金屬氧化物層。在金屬氧化物層上形成電極緩衝疊層,其中電極緩衝疊層包括第一緩衝層以及第二緩衝層,第一緩衝層位於金屬氧化物層與第二緩衝層之間,第一緩衝層相對地不易與金屬氧化物層產生氧化反應,且第二緩衝層相對地容易與金屬氧化層產生氧化反應。在電極緩衝疊層上形成第二電極。
Public/Granted literature
- TWI497492B 電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法 Public/Granted day:2015-08-21
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