Invention Patent
TW201349238A 電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法 审中-公开
电阻式随机存取内存之记忆胞及其制造方法

電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法
Abstract:
一種電阻式隨機存取記憶體之記憶胞及其製造方法。所述方法包括形成第一電極。在第一電極上形成金屬氧化物層。在金屬氧化物層上形成電極緩衝疊層,其中電極緩衝疊層包括第一緩衝層以及第二緩衝層,第一緩衝層位於金屬氧化物層與第二緩衝層之間,第一緩衝層相對地不易與金屬氧化物層產生氧化反應,且第二緩衝層相對地容易與金屬氧化層產生氧化反應。在電極緩衝疊層上形成第二電極。
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