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TW201523832A 半導體封裝件之製法 审中-公开
半导体封装件之制法

半導體封裝件之製法
摘要:
一種半導體封裝件之製法,其係包括:提供一承載件,其上設置有至少一具有相對之第一表面與第二表面的半導體晶片,且該半導體晶片係以其第一表面接置於該承載件上,且該第二表面上接置有複數第一導電元件;將一具有相對之第三表面與第四表面的中介板以其第三表面接置於該等第一導電元件上,該中介板具有複數嵌埋其中且電性連接該第三表面的導電柱;於該承載件上形成包覆該半導體晶片與中介板的封裝層,令該封裝層具有面向該承載件之底面與其相對之頂面;從該中介板的第四表面移除部分厚度的該中介板與封裝層,以外露該導電柱之一端於該第四表面;以及移除該承載件。本發明能增進接合品質。
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