Invention Patent
- Patent Title: 鰭式場效電晶體元件結構與其形成方法
- Patent Title (English): Fin field effect transistor (FinFET) device and method for forming the same
- Patent Title (中): 鳍式场效应管组件结构与其形成方法
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Application No.: TW105102314Application Date: 2016-01-26
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Publication No.: TW201703122APublication Date: 2017-01-16
- Inventor: 陳建穎 , CHEN, CHANG YIN , 張家瑋 , CHANG, CHAI WEI , 廖家陽 , LIAO, CHIA YANG , 楊柏峰 , YOUNG, BO FENG
- Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- Applicant Address: 新竹市
- Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- Current Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- Current Assignee Address: 新竹市
- Agent 洪澄文; 顏錦順
- Priority: 62/188,028 20150702;14/942,580 20151116
- Main IPC: H01L21/28
- IPC: H01L21/28 ; H01L21/8232 ; H01L29/41 ; H01L29/772
Abstract:
本揭露提供一種鰭式場效電晶體元件結構(FinFET device structure),包括:一鰭式結構,形成於一基板之上;以及一閘極結構,橫跨於該鰭式結構之上,其中該閘極結構包括一閘極電極層,其中該閘極電極層包括一上部份高於該鰭式結構與一下部份低於該鰭式結構,該上部份具有一頂表面,該下部份具有一底表面,該頂表面具有一第一寬度,該底表面具有一第二寬度,且該第一寬度大於該第二寬度。
Public/Granted literature
- TWI647748B 鰭式場效電晶體元件結構與其形成方法 Public/Granted day:2019-01-11
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IPC分类: