Invention Patent
TW201703122A 鰭式場效電晶體元件結構與其形成方法 审中-公开
鳍式场效应管组件结构与其形成方法

鰭式場效電晶體元件結構與其形成方法
Abstract:
本揭露提供一種鰭式場效電晶體元件結構(FinFET device structure),包括:一鰭式結構,形成於一基板之上;以及一閘極結構,橫跨於該鰭式結構之上,其中該閘極結構包括一閘極電極層,其中該閘極電極層包括一上部份高於該鰭式結構與一下部份低於該鰭式結構,該上部份具有一頂表面,該下部份具有一底表面,該頂表面具有一第一寬度,該底表面具有一第二寬度,且該第一寬度大於該第二寬度。
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