Invention Patent
- Patent Title: 半導體影像感測裝置及其製作方法
- Patent Title (English): Semiconductor image sensor device and method for manufacturing the same
- Patent Title (中): 半导体影像传感设备及其制作方法
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Application No.: TW107121149Application Date: 2018-06-20
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Publication No.: TW201919253APublication Date: 2019-05-16
- Inventor: 江彥廷 , CHIANG, YEN-TING , 陳春元 , CHEN, CHUN-YUAN , 曾曉暉 , TSENG, HSIAO-HUI , 李昇展 , LI, SHENG-CHAN , 王昱仁 , WANG, YU-JEN , 吳尉壯 , WU, WEI CHUANG , 丁世汎 , TING, SHYH-FANN , 劉人誠 , LIU, JEN-CHENG , 楊敦年 , YAUNG, DUN-NIAN
- Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Applicant Address: 新竹市
- Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Current Assignee: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- Current Assignee Address: 新竹市
- Agent 陳長文; 馮博生
- Priority: 62/583,906 20171109;15/937,210 20180327
- Main IPC: H01L31/14
- IPC: H01L31/14 ; H01L21/78
Abstract:
本發明實施例係關於一種半導體影像感測器裝置,其包含一半導體基板、一輻射感測區及一第一隔離結構。該輻射感測區在該半導體基板中。該第一隔離結構在該半導體基板中且鄰近於該輻射感測區。該第一隔離結構包含在該半導體基板中之一底部隔離部分、在該半導體基板中之一上隔離部分,及包圍該上隔離部分之一側壁的一擴散阻障層。
Public/Granted literature
- TWI670863B 半導體影像感測裝置及其製作方法 Public/Granted day:2019-09-01
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IPC分类: