发明申请
- 专利标题： METHODS AND MATERIALS FOR REMOVING METALS IN BLOCK COPOLYMERS
- 专利标题（中）： 用于去除嵌段共聚物中金属的方法和材料
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申请号： US13416669申请日： 2012-03-09
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公开(公告)号： US20130233827A1公开(公告)日： 2013-09-12
- 发明人: Jian YIN , Hengpeng WU , Muthiah THIYAGARAJAN , SungEun HONG , Mark NEISSER , Yi CAO
- 申请人： Jian YIN , Hengpeng WU , Muthiah THIYAGARAJAN , SungEun HONG , Mark NEISSER , Yi CAO
- 申请人地址： US NJ SOMERVILLE
- 专利权人： AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L.
- 当前专利权人： AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L.
- 当前专利权人地址： US NJ SOMERVILLE
- 主分类号： C08F6/04
- IPC分类号： C08F6/04 ; B05D3/10 ; B05D5/00
摘要：
The present invention relates to a method for treating a block copolymer solution, wherein the method comprises: providing a solution comprising a block copolymer in a non aqueous solvent; and, treating the solution to remove metals using an ion exchange resin. The invention also relates to a method of forming patterns using the treated block copolymer.
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