- 专利标题： PROCESS FOR TRANSFER IMPRINTING
-
申请号： US16955402申请日： 2018-12-19
-
公开(公告)号： US20210072639A1公开(公告)日： 2021-03-11
- 发明人: Christophe Navarro , Celia Nicolet , Xavier Chevalier , Florian Delachat , Hubert Teyssedre
- 申请人： Arkema France
- 申请人地址： FR Colombes
- 专利权人： Arkema France
- 当前专利权人： Arkema France
- 当前专利权人地址： FR Colombes
- 优先权： FR1762830 20171221
- 国际申请： PCT/FR2018/053396 WO 20181219
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; B29C33/62 ; B29C33/42 ; C08F112/08 ; C08F212/08 ; C08F120/26 ; C08F220/28 ; C08F230/02 ; C08F130/02
摘要：
A process for transfer imprinting using a novel family of anti-sticking layers, such as for nanoimprint lithography processes, is described.
公开/授权文献
- US11880131B2 Process for transfer imprinting 公开/授权日：2024-01-23
信息查询
