- 专利标题： METHOD AND DEVICE FOR TRANSFERRING A TRANSFER LAYER
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申请号： US17919771申请日： 2020-04-20
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公开(公告)号： US20230211592A1公开(公告)日： 2023-07-06
- 发明人: Venkata Raghavendra Subrahmanya Sarma Mokkapati , Boris Povazay , Thomas Uhrmann
- 申请人： EV Group E. Thallner GmbH
- 申请人地址： AT St. Florian am Inn
- 专利权人： EV Group E. Thallner GmbH
- 当前专利权人： EV Group E. Thallner GmbH
- 当前专利权人地址： AT St. Florian am Inn
- 国际申请： PCT/EP2020/061026 2020.04.20
- 进入国家日期： 2022-10-19
- 主分类号： B32B37/00
- IPC分类号： B32B37/00 ; C23C16/01 ; C23C14/00 ; C23C16/26 ; C23C14/06
摘要：
The invention relates to a device for the transfer of a transfer layer from a substrate, in particular from a growth substrate, to a carrier substrate.
公开/授权文献
- US11865824B2 Method and device for transferring a transfer layer 公开/授权日：2024-01-09
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