发明授权
US5698369A Photosensitive composition comprising a sulfonimide compound according
to the formula R.sub.1 -SO.sub.2 -NR.sub.3 -SO.sub.2 -R.sub.2 wherein
R.sub.1, R.sub.2 and R.sub.3 each represents an aromatic group or an
alkyl group
失效
包含根据式R1-SO2-NR3-SO2-R2的磺酰亚胺化合物的光敏组合物，其中R 1，R 2和R 3各自表示芳基或烷基
- 专利标题： Photosensitive composition comprising a sulfonimide compound according to the formula R.sub.1 -SO.sub.2 -NR.sub.3 -SO.sub.2 -R.sub.2 wherein R.sub.1, R.sub.2 and R.sub.3 each represents an aromatic group or an alkyl group
- 专利标题（中）： 包含根据式R1-SO2-NR3-SO2-R2的磺酰亚胺化合物的光敏组合物，其中R 1，R 2和R 3各自表示芳基或烷基
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申请号： US488450申请日： 1995-06-07
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公开(公告)号： US5698369A公开(公告)日： 1997-12-16
- 发明人: Koichi Kawamura , Fumikazu Kobayashi , Tsukasa Yamanaka
- 申请人： Koichi Kawamura , Fumikazu Kobayashi , Tsukasa Yamanaka
- 申请人地址： JPX Kanagawa
- 专利权人： Fuji Photo Film Co., Ltd.
- 当前专利权人： Fuji Photo Film Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： JPX Kanagawa
- 优先权： JPX5-169032 19930708
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; G03F7/004 ; G03F7/027 ; G03F7/028 ; G03F7/039 ; H01L21/027 ; G03C1/73
摘要：
Disclosed is a photosensitive composition comprising a sulfonimide compound represented by formula (I): R.sub.1 --SO.sub.2 --NR.sub.3 --SO.sub.2 --R.sub.2 (I) wherein R.sub.1, R.sub.2 and R.sub.3 each represents an unsubstituted or substituted aromatic group or an unsubstituted or substituted alkyl group.
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