Device and methodology for reducing effective dielectric constant in semiconductor devices

发明授权

US07592685B2 Device and methodology for reducing effective dielectric constant in semiconductor devices 有权

标题翻译：用于降低半导体器件中有效介电常数的器件和方法

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专利标题： Device and methodology for reducing effective dielectric constant in semiconductor devices
专利标题（中）： 用于降低半导体器件中有效介电常数的器件和方法
申请号： US11849048

申请日： 2007-08-31
公开(公告)号： US07592685B2

公开(公告)日： 2009-09-22
发明人: Daniel C. Edelstein , Matthew E. Colburn , Edward C. Cooney, III , Timothy J. Dalton , John A. Fitzsimmons , Jeffrey P. Gambino , Elbert E. Huang , Michael W. Lane , Vincent J. McGahay , Lee M. Nicholson , Satyanarayana V. Nitta , Sampath Purushothaman , Sujatha Sankaran , Thomas M. Shaw , Andrew H. Simon , Anthony K. Stamper
申请人： Daniel C. Edelstein , Matthew E. Colburn , Edward C. Cooney, III , Timothy J. Dalton , John A. Fitzsimmons , Jeffrey P. Gambino , Elbert E. Huang , Michael W. Lane , Vincent J. McGahay , Lee M. Nicholson , Satyanarayana V. Nitta , Sampath Purushothaman , Sujatha Sankaran , Thomas M. Shaw , Andrew H. Simon , Anthony K. Stamper
申请人地址： US NY Armonk
专利权人： International Business Machines Corporation
当前专利权人： International Business Machines Corporation
当前专利权人地址： US NY Armonk
代理机构： Greenblum & Bernstein P.L.C.
代理商 Daniel Schnurmann
主分类号： H01L29/93
IPC分类号： H01L29/93

Device and methodology for reducing effective dielectric constant in semiconductor devices

摘要：

Semiconductor structure includes an insulator layer having at least one interconnect feature and at least one gap formed in the insulator layer spanning more than a minimum spacing of interconnects.

摘要（中）：

半导体结构包括具有至少一个互连特征的绝缘体层和形成在绝缘体层中的至少一个间隙，跨越多于互连的最小间隔。

公开/授权文献

US20080038915A1 DEVICE AND METHODOLOGY FOR REDUCING EFFECTIVE DIELECTRIC CONSTANT IN SEMICONDUCTOR DEVICES 公开/授权日：2008-02-14

信息查询

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L29/00	专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L31/00至H01L47/00，H01L51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00）
H01L29/66	.按半导体器件的类型区分的
H01L29/86	..只能通过对一个或多个通有待整流，放大、振荡或切换的电流的电极供给电流的变化或施加电位的变化方可进行控制的（H01L29/96优先）
H01L29/92	...有电位跃变势垒或表面势垒的电容器
H01L29/93	....电容量可变的二极管，例如变容二极管