发明授权
- 专利标题： Semi-aqueous stripping and cleaning composition containing aminobenzenesulfonic acid
- 专利标题（中）： 含有氨基苯磺酸的半水洗脱组合物
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申请号： US12047655申请日： 2008-03-13
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公开(公告)号： US07687447B2公开(公告)日： 2010-03-30
- 发明人: Matthew I. Egbe , Michael Walter Legenza , Dana L. Durham
- 申请人： Matthew I. Egbe , Michael Walter Legenza , Dana L. Durham
- 申请人地址： US PA Allentown
- 专利权人： Air Products and Chemicals, Inc.
- 当前专利权人： Air Products and Chemicals, Inc.
- 当前专利权人地址： US PA Allentown
- 代理商 Lina Yang
- 主分类号： C11D7/50
- IPC分类号： C11D7/50
摘要：
The present invention relates to semi-aqueous compositions and the method using same, to remove highly cross-linked resists and etch-residues. The compositions are comprised of aminobenzenesulfonic acid, water miscible organic solvent and water.