发明授权
- 专利标题： Attaching apparatus
- 专利标题（中）： 安装设备
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申请号： US14408903申请日： 2013-05-07
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公开(公告)号： US09548232B2公开(公告)日： 2017-01-17
- 发明人: Junichi Katsuragawa , Yoshihiro Inao , Shigeru Kato
- 申请人： Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
- 申请人地址： JP Kawasaki-shi
- 专利权人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- 当前专利权人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- 当前专利权人地址： JP Kawasaki-shi
- 代理机构： Knobbe Martens Olson & Bear LLP
- 优先权： JP2012-139213 20120620
- 国际申请： PCT/JP2013/062816 WO 20130507
- 国际公布： WO2013/190926 WO 20131227
- 主分类号： B32B37/00
- IPC分类号： B32B37/00 ; H01L21/683 ; B32B37/10 ; H01L21/67 ; B32B37/12 ; B32B41/00
摘要：
An attaching apparatus, a substrate and a support that can be uniformly attached through an adhesive layer. The attaching apparatus is equipped with a set plate and a press plate formed of ceramics. The set plate and the press plate have a flatness of 1.0 μm or less when not pressed.
公开/授权文献
- US20150325463A1 ATTACHING APPARATUS 公开/授权日：2015-11-12
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