炭化珪素半導体装置において、トレンチ（６）は、ソース領域（４）および第１ゲート領域（３）を貫通してドリフト層（２）まで達している。前記トレンチ（６）の内壁上には、エピタキシャル成長によって第１導電型のチャネル層（７）が形成される。前記チャネル層（７）の上には第２導電型の第２ゲート領域（８）が形成される。第１凹部（１３）は前記トレンチ（６）の先端部に設けられ、前記ソース領域（４）の厚みよりも深く形成されることにより、前記トレンチ（６）の先端部においてソース領域（４）が除去される。前記第１凹部（１３）のコーナ部は第２導電型層（１６）に覆われている。