一种用于晶圆检测的补正装置

    公开(公告)号:CN113534433A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110990802.1

    申请日:2021-08-26

    摘要: 公开了一种用于晶圆检测的补正装置,包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件,载台组件可旋转地设置于安装底板上,多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上,XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块,导向模组底板与安装底板固定,旋转模块与载台组件固定连接,驱动装置与其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动载台组件旋转。该装置可以实现高刚性角度补正和零抖动检测。

    一种晶圆的清洗装置和清洗方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111359934A

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN202010287785.0

    申请日:2020-04-10

    发明人: 陈进益 孙会民

    IPC分类号: B08B1/02 B08B3/08 B08B7/00

    摘要: 公开了一种晶圆的清洗装置和清洗方法,包括基座;载台组件,载台组件可移动地设置于基座的底部,载台组件上端可旋转地设置有用于放置晶圆的载台;擦拭组件,设置于载台组件移动路径上,包括自动进给的拭材机构、可位移的擦拭头机构,以及相对载台组件移动方向位于擦拭头机构后端的滴定机构;大气压等离子装置,设置于载台组件移动路径的末端;其中,擦拭组件和大气压等离子装置均设置于载台的上方,擦拭头机构位移时抵压拭材至载台上的晶圆,载台相对擦拭头旋转或移动进行晶圆的清洗。还公开了一种利用上述装置清洗晶圆的方法,利用该装置清洗晶圆可以降低水滴角,提升洁净度、透光性,避免后端贴膜切割再撕膜挑片困难问题。

    一种晶圆的自动检测装置

    公开(公告)号:CN113607755B

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202110989155.2

    申请日:2021-08-26

    IPC分类号: G01N21/956 G01N21/88

    摘要: 公开了一种晶圆的自动检测装置,包括基座组件,其包括悬臂和底座平台,悬臂设置于底座平台上;双相机显微成像单元可升降地设置于悬臂上;XYθ轴移动平台,包括设置于底座平台上的X、Y轴移动平台和置于其上的补正平台,补正平台包括固定于X、Y轴移动平台上模组安装底板、通过旋转组件可旋转地设置于安装底板上的载台组件和二者之间的多个XYθ轴导向模组,XYθ轴导向模组包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块,导向模组底板与安装底板固定,旋转模块与载台组件固定连接,其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块与驱动装置连接以推动载台组件旋转。该装置可实现快速、高效取像、提高晶圆检测速度和检测精度。

    一种可自动切换模块镜组的光学检测模组

    公开(公告)号:CN116560167A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310571879.4

    申请日:2023-05-22

    IPC分类号: G03B17/14

    摘要: 本申请涉及一种可自动切换模块镜组的光学检测模组,涉及设觉检测技术,包括依次设置的相机组件、镜组组件和物镜组件,所述镜组组件和物镜组件之间设置有模块镜组切换组件,所述模块镜组切换组件设置有多个模块镜组,所述模块镜组均设置有用于和所述镜组组件对接的镜组接口和用于和所述物镜组件对接的物镜接口;所述模块镜组切换组件还包括将其中一个模块镜组切换至所述物镜组件和所述镜组组件所在检测光路的驱动机构,模块镜组切换组件能够实现模块镜组的自动切换,使相机能够实现不同图像的采集,完成多项检测项目。

    导电粒子检测光学模组
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110031467A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910390124.8

    申请日:2019-05-10

    发明人: 蔡章华

    IPC分类号: G01N21/84

    摘要: 本发明公开了一种导电粒子检测光学模组,包括蓝色LED光源、光源偏光起偏镜、偏光检偏镜、线扫相机、高度调整滑台、DIC微分干涉插片、激光测距仪和显微物镜,线扫相机通过光学连通导件挂设在高度调节滑台下方,光源偏光起偏镜连接设置在光学连通导件一侧,偏光检偏镜位于光源偏光起偏镜下方,DIC微分干涉插片插设在光学连通导件上部,激光测距仪与高度调节滑台信号连通;测距仪及高度调节滑台配合自动快速对焦,操作简单速度快,多个光路元件及线扫相机配合进行采集便于后续分析,无需肉眼观察判断检测,对眼睛无伤害健康隐患小,检测效率高,劳动强度小,人工成本低,检测准确率高,不易出现误检错检,无需频繁返工再检,满足大批量检测需求。

    一种螺丝分料机构及螺丝分料设备

    公开(公告)号:CN108311874A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810103557.6

    申请日:2018-02-01

    发明人: 张元珍

    IPC分类号: B23P19/06 B23P19/00

    摘要: 本发明提供一种螺丝分料机构及螺丝分料设备,其中,螺丝分料机构包括分料盘和入料盘;分料盘设有若干螺丝料槽;螺丝料槽包含至少两种以上规格螺丝料槽;各规格螺丝料槽的槽口宽度相等,各规格螺丝料槽的槽口深度不等,使得不同直径螺丝的中心点至分料盘圆心的距离相等;入料盘设有直槽和斜槽,直槽与斜槽连通,直槽与斜槽的夹角为锐角;直槽内设有推动部件;分料盘旋转设置于入料盘上;直槽与分料盘对接。采用本发明提供的螺丝分料机构,分料盘结构简单,能够实现螺丝锁付机构对不同直径螺丝的精确取料,能够提高锁付单种螺丝时锁付杆的使用效率;同时,解决螺丝输送时在分料盘处出现卡料和叠料的问题,避免影响分料盘和螺丝锁付机构的正常运作。

    一种螺丝自动安装锁紧批头及装置

    公开(公告)号:CN106312534B

    公开(公告)日:2018-03-02

    申请号:CN201610946598.2

    申请日:2016-10-26

    发明人: 郑隆结 孙会民

    IPC分类号: B23P19/06

    摘要: 本发明提供一种螺丝自动安装锁紧批头及装置,包括批头导杆,批头导套,第一磁铁,第二磁铁,第三磁铁和批头;批头导杆上方设有第一限位凸起和第二限位凸起;第一磁铁和第二磁铁均位于批头导杆上;第一磁铁的位于第一限位凸起的下方;第二磁铁的位于第二限位凸起的上方;第一磁铁和第二磁铁同名磁极相对;批头导套为中空状,套接于批头导杆的下方,批头导套的上方与第二磁铁相吸;批头位于批头导杆的内部,从批头导套的下方伸出;批头与批头导套之间设有防脱落组件和防旋转组件;第三磁铁位于批头导套的下方。使用本发明提供的螺丝自动安装锁紧批头,批头导套能够准确复位,工作效率高,同时更换批头简单快捷。

    一种螺丝自动安装锁紧批头及装置

    公开(公告)号:CN106312534A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201610946598.2

    申请日:2016-10-26

    发明人: 郑隆结 孙会民

    IPC分类号: B23P19/06

    CPC分类号: B23P19/06

    摘要: 本发明提供一种螺丝自动安装锁紧批头及装置,包括批头导杆,批头导套,第一磁铁,第二磁铁,第三磁铁和批头;批头导杆上方设有第一限位凸起和第二限位凸起;第一磁铁和第二磁铁均位于批头导杆上;第一磁铁的位于第一限位凸起的下方;第二磁铁的位于第二限位凸起的上方;第一磁铁和第二磁铁同名磁极相对;批头导套为中空状,套接于批头导杆的下方,批头导套的上方与第二磁铁相吸;批头位于批头导杆的内部,从批头导套的下方伸出;批头与批头导套之间设有防脱落组件和防旋转组件;第三磁铁位于批头导套的下方。使用本发明提供的螺丝自动安装锁紧批头,批头导套能够准确复位,工作效率高,同时更换批头简单快捷。

    液晶面板线路镭射切割机

    公开(公告)号:CN109940292B

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN201910390705.1

    申请日:2019-05-10

    发明人: 郑隆结

    IPC分类号: B23K26/38 B23K26/70

    摘要: 本发明公开了一种液晶面板线路镭射切割机,包括机架、电控箱、人机界面、激光发生器箱体、工业电脑、镭射头、接料机构、上料机构、翻面机构、镭射载台机构、下料机构、中转平台、NG排片模组和出料机构,接料机构、镭射载台机构、中转平台、NG排片模组依次设置在机架上,上下料机构分别位于镭射载台机构左右两边,翻面机构设于靠近接料机构,出料机构设于且靠近中转平台;红绿两种光自由切换使用,可满足不同产品需求使用更方便,使用不受限通用性强,设备投入成本低利用率高,可正反面切割,无金属残留不损坏产品,良品率高,原料浪费少原料成本低,接料、上料、翻面、下料、出料等集合到一起并自动完成,无需人工操作干预,操作智能简捷。

    一种高速多头芯片分选装置

    公开(公告)号:CN115608626A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211351586.7

    申请日:2022-10-31

    IPC分类号: B07C5/02 B65G47/91 B08B17/02

    摘要: 本申请公开了一种高速多头芯片分选装置,包括电磁阀组件、真空压力表、相机定位组件、行程调整组件、旋转取晶置晶单元和防护外罩,旋转取晶置晶单元包括直驱电机、芯片拾取机构和驱动组件,旋转取晶置晶单元上设置有18个芯片拾取机构,设定两个工位的位置分别为取晶位和置晶位,进行芯片分选工作时,行程调整组件设置在取晶位上方,带动取晶位的芯片拾取机构下压,驱动组件带动芯片拾取机构做升降运动,电磁阀组件控制进行芯片的拾取和放置,利用真空表头进行信号的回传,相机定位组件芯片进行定位拍照,便于下一次拾晶和置晶动作的顺利进行,本申请的芯片分选装置分选效率高、洁净度高,取晶平台和置晶平台可上下层设置,占用空间小。