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公开(公告)号：CN108527182B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201810443806.6
申请日：2018-05-10
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明提供了一种利用掩膜版制备磨粒有序排布的单层化学气相沉积制备金刚石磨料工具的方法，其包括如下步骤：将基体经预处理后，在表面涂覆光刻胶，并在所述光刻胶的表面铺设掩膜版；在所述掩膜板的表面布设金刚石磨料，振动基体，使磨料进入掩膜版的分布孔中；去除分布孔外的多余金刚石磨料，取下掩膜版，将粘有金刚石磨料的基体进行化学气相沉积，形成金刚石涂层，得到金刚石磨料工具。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：1、本发明可以制备100μm以细粒度有序排布金刚石磨料工具，适合精密磨削加工；2、本发明所采用的设备简单，步骤少，操作简便，有利于批量生产。
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公开(公告)号：CN106926148B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201710072261.8
申请日：2017-02-08
申请人： 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明公开了一种利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法；该方法针对碳化硅基体，将金刚石磨料混入光刻胶溶液并将其超声振荡，利用旋转甩胶均匀分散金刚石磨粒，实现其在基体衬底均匀分布，采用CVD方法在金刚石磨粒和碳化硅基体之间沉积金刚石涂层结合剂，将磨料与基体牢固的连结起来，同时磨粒生长成为高品级立方八面体单晶颗粒。本发明制备的单层金刚石磨料工具磨粒把持力强，出露高度高，容屑空间大，避免了电镀和钎焊单层金刚石磨料工具缺点，适用于制备细粒度(5‑100μm)单层金刚石磨料工具。本发明制备的单层金刚石磨料工具在半导体、光学晶体、人造蓝宝石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工领域，具有广阔应用前景。
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公开(公告)号：CN106544641B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201610920894.5
申请日：2016-10-21
申请人： 上海交通大学 , 上海交闵精密耐磨器件有限公司
摘要： 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。
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公开(公告)号：CN108527182A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810443806.6
申请日：2018-05-10
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明提供了一种利用掩膜版制备磨粒有序排布的单层化学气相沉积制备金刚石磨料工具的方法，其包括如下步骤：将基体经预处理后，在表面涂覆光刻胶，并在所述光刻胶的表面铺设掩膜版；在所述掩膜板的表面布设金刚石磨料，振动基体，使磨料进入掩膜版的分布孔中；去除分布孔外的多余金刚石磨料，取下掩膜版，将粘有金刚石磨料的基体进行化学气相沉积，形成金刚石涂层，得到金刚石磨料工具。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：1、本发明可以制备100μm以细粒度有序排布金刚石磨料工具，适合精密磨削加工；2、本发明所采用的设备简单，步骤少，操作简便，有利于批量生产。
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公开(公告)号：CN106926148A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710072261.8
申请日：2017-02-08
申请人： 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
IPC分类号： B24D18/00
摘要： 本发明公开了一种利用化学气相沉积制备单层金刚石磨料工具的方法；该方法针对碳化硅基体，将金刚石磨料混入光刻胶溶液并将其超声振荡，利用旋转甩胶均匀分散金刚石磨粒，实现其在基体衬底均匀分布，采用CVD方法在金刚石磨粒和碳化硅基体之间沉积金刚石涂层结合剂，将磨料与基体牢固的连结起来，同时磨粒生长成为高品级立方八面体单晶颗粒。本发明制备的单层金刚石磨料工具磨粒把持力强，出露高度高，容屑空间大，避免了电镀和钎焊单层金刚石磨料工具缺点，适用于制备细粒度(5‑100μm)单层金刚石磨料工具。本发明制备的单层金刚石磨料工具在半导体、光学晶体、人造蓝宝石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工领域，具有广阔应用前景。
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公开(公告)号：CN106544641A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610920894.5
申请日：2016-10-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。
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